[发明专利]一种金属非晶超疏水表面的制备方法

权利要求书

1.一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：具体包括几个步骤：

(1)金属非晶表面的处理：将金属非晶的一侧表面依次砂纸打磨光滑得到平整的表面，在打磨过程中滴入无水乙醇，将打磨后的金属非晶放入无水乙醇中，超声震荡清洗后吹干备用；

(2)硅片表面的处理：将实验用硅片模板放入无水乙醇中，超声震荡清洗2分钟以上，清除表面油迹，吹干备用；

(3)将金属非晶表面光滑的一面向上，硅片有规则阵列的一面向下置于金属非晶的光滑表面上；

(4)将电阻加热炉放入万能材料试验机中，对电阻加热炉开始进行升温，至70～130℃时停止加热，将步骤(3)中的金属非晶和硅片放入电阻加热炉的反应室中，保持硅片置于金属非晶的光滑表面上，调节万能材料试验机参数，选择控制模式为位移控制，0.01～0.50mm/min，保持阶段控制模式为载荷控制，保持开始标准为压缩应力，压缩应力保持值为10～100Mpa进行压印，待压缩应力达到压缩应力保持值为10～100Mpa后停止加热，保压1～2分钟后取出；

(5)将压印后金属非晶放入无水乙醇中超声振荡2分钟以上；

(6)将金属非晶放入低温等离子体表面处理仪的反应室中，设置一遍参数背底真空度为9～20pa，设置一遍参数一路进气量10～1000标准毫升/分钟，一遍参数稳定时间10～100秒，一遍参数高频功率100～300瓦，一遍参数放电时间10～1000秒；二遍参数背底真空度8～20pa，二遍参数一路进气量0标准毫升/分钟，二遍参数稳定时间10～100秒，二遍参数高频功率100～300瓦，二遍参数放电时间10～1000秒，待低温等子体表面处理仪的反应室中灯光熄灭，处理过程结束；

(7)取出经等离子体处理过的金属非晶，放入聚全氟烷基硅氧烷-乙醇混合溶液中浸泡24小时以上；

(8)将经过步骤(7)处理过的金属非晶用无水乙醇反复冲洗4～5次以上，放入80℃～110℃的烘箱中干燥后，得到表面覆盖一层聚全氟烷基硅氧烷的薄膜，得到金属非晶超疏水表面，实现金属非晶超疏水表面的制备。

2.根据权利要求1所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的步骤(2)中的硅片为单晶硅，厚度0.3mm～1mm，硅片的规格尺寸为20um×10um，20um为硅片上均匀阵列的边长，10um为硅片上均匀阵列之间的间距。

3.根据权利要求1所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的步骤(7)中聚全氟烷基硅氧烷-乙醇混合溶液中聚全氟烷基硅氧烷的质量分数为1％～5％。

4.根据权利要求1所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的步骤(4)中速度为0.186mm/min，压缩应力保持值为30Mpa。

5.根据权利要求1所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的步骤(6)中设置一遍参数背底真空度为10Mpa，设置一遍参数一路进气量100标准毫升/分钟，一遍参数稳定时间20秒，一遍参数高频功率200瓦，一遍参数放电时间600秒；二遍参数背底真空度8Mpa，二遍参数一路进气量0标准毫升/分钟，二遍参数稳定时间15秒，二遍参数高频功率180瓦，二遍参数放电时间40秒。

6.根据权利要求1所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的金属非晶为铈基、稀土基底、镁基、钯基、铂基或锆基基底的金属非晶。

7.根据权利要求6所述的一种金属非晶超疏水表面的制备方法，其特征在于：所述的铈基金属非晶为Ce₆₉A1₁₀Cu₂₀Co₁，稀土金属基合金为La₅₅Al₂₅Ni₂₀，镁基金属非晶为Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀，钯基金属非晶为Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀，铂基金属非晶为Pt_57.5Cu_14.7Ni_5.3P_22.5，锆基金属非晶为Zr_41.2Ti_13.8Cu_12.5Ni₁₀Be_22.5。