[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，其特征在于，所述基板导向件包括：

基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；

浮起单元，用于将所述基板导向件主体从载物台表面浮起；

偏向装置，用于使所述基板导向件主体偏向于载物台表面侧，

其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过所述浮起单元和所述偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

2.根据权利要求1所述基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件在与所述载物台的表面相对的位置上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫向所述载物台表面喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，所述浮起单元的空气垫与所述基板导向件主体的基板抵接部单独地形成。

4.根据权利要求1至3任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述浮起单元的空气垫设置在偏离所述载物台的基板输送区域的位置上。

5.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件在与载物台表面相对的所述基板导向件主体的底面部上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

6.根据权利要求1或5所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件进一步包括支撑所述基板导向件主体的导向件支撑部，通过该导向件支撑部所述基板导向件主体以能够向相对于载物台表面接触和分离的方向位移的方式被支撑，在所述导向件支撑部和基板导向件主体之间以收缩状态设置有弹簧部件，通过该弹簧部件，基板导向件主体偏向于载物台表面侧。

7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，在所述导向件支撑部上的所述基板导向件主体被支撑的附近形成有吸引部，该吸引部向所述基板抵接部侧开口。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于，所述导向件支撑部包括沿所述基板抵接部侧延伸的罩，该罩配置在所述吸引部的开口外侧，并按照覆盖基板导向件主体的整个外周的方式设置，在所述罩和所述基板抵接部之间形成有间隙。

9.根据权利要求1至8任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板抵接部包括相对于基板的侧面倾斜的倾斜面，该倾斜面具有朝向载物台的表面直径扩大的形状。