[发明专利]一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源

权利要求书

1.一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源，包括高压电极组件(1)、接地电极组件(2)、α-Al₂O₃电介质层(13)、α-Al₂O₃垫条(14)、原料气体入口(3)、原料气体均流室(4)、非平衡等离子体电离腔(15)、反应气体汇集室(5)、反应气体出口(6)、冷却水入口(7)、冷却水出口(8)、高压绝缘端子(9)和密封侧板(10)，其特征在于：

高压电极组件(1)放置在两平行的接地电极组件(2)之间构成双电离腔结构；高压电极组件(1)或接地电极组件(2)安装有大气压局域强电场诱发器件针阵列电极，并与相对应的平板电极之间构成多针-板放电电极结构；平板电极表面均匀覆盖α-Al₂O₃电介质层(13)，非平衡等离子体电离腔(15)的放电间隙距离为0.25～0.64mm，接地电极组件(2)设有冷却水腔；

其中，针阵列电极分为针阵列高压电极(11)和针阵列接地电极(17)，针阵列高压电极(11)和针阵列接地电极(17)中的每个针电极均是底面为正方形的四棱锥结构，各针电极在同一平面内纵横排列形成阵列结构，针电极长度为0.5～1.0mm，相邻针尖头部距离为0.3～0.5mm，每平方厘米内包含针电极数为400～1000个；

α-Al₂O₃电介质层(13)由纯度为96％～99％，相对介电常数为9～10的α-Al₂O₃材料制成，厚度为0.47～0.64mm；α-Al₂O₃电介质层(13)与平板接地电极(12)及平板高压电极(16)接触的一面镀涂0.1mm厚的金属Ag或Au，镀层边缘距α-Al₂O₃电介质层(13)边缘留有6～8mm的绝缘距离，金属Ag或Au镀层与平板接地电极(12)和平板高压电极(16)连接；

该引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源的激励电压5～10kV、激励频率5～50kHz、工作气压90～110kPa、冷却水温度5～10℃，原料气体在非平衡等离子体电离腔(15)内的流速2～10m/s。