[发明专利]一种银合金溅射靶的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于银合金溅射靶的一种制造方法。

背景技术

纯银溅射靶形成的薄膜，由于具有高反射率及低电阻的特性，所以适用于光学记录介质的反射膜、反射型液晶显示器的电极·反射膜等。

但是纯银溅射靶一方面其成本高昂，另一方面纯银溅射靶形成的薄膜在长时间暴露于空气中的情况下或暴露于高温高湿的情况下，薄膜的表面容易氧化，另外产生银晶粒成长或银原子凝聚等现象，由此会产生导电性的劣化与反射率的下降，或使与基板的粘接性劣化等问题。从而，最近试进行了很多关于一边维持纯银原来的高的反射率、一边由添加合金元素提高其耐腐蚀性的改善。而且，在进行这样的薄膜改善的同时，还对形成银合金薄膜所使用的靶进行了研究，例如，在特开2001-192752号公报中作为电子部件用金属材料之一公开了一种如下的溅射靶，其以Ag为主要成分，并为了提高耐气候性而含有0.1～3wt％的Pd，进一步为了抑制由于添加Pd所引起的电阻率的增大而含有0.1～3wt％范围的、从由Al、Au、Pt、Cu、Ta、Cr、Ti、Ni、Co、Si等所构成的群中选择的多个元素。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于提供有利于由溅射法形成膜厚及成分组成均匀的银合金靶的制造方法。

本申请的银合金溅射靶的制造方法，包括如下步骤：

步骤一、配料：根据熔炉容量，按照合金成分百分比计算出各合金组元的投入重量，各组元按照质量百分比计算；Zr为0.3-2.5％、Ce为0.02-1％、Ag为0.05-0.5％，余量为Al；

步骤二、投料：投料顺序Al、AlZr合金、AlAg合金、AlCe合金；

步骤三、熔炼：熔炼温度为Al 680-710℃，AlZr合金700-740℃，AlAg合金740℃，AlRe合金700-730℃，其中熔炼时间为：Al 10-60分钟，AlZr合金10-15分钟，AlAg合金15-20分钟，AlCe合金5-10分钟；

步骤四、精炼：将精炼剂通过纯石墨管由氩气送入炉底，充分搅拌，除气，扒渣，静置10分钟；

步骤五、铸造：使用铸铁或者铸钢金属模具，进行浇铸挤压成型；

步骤六、热处理：300-420℃均匀化退火2小时。

所用精炼剂为本领域常用市售精炼剂，比如硝酸钠或六氯乙烷。

本发明人经过大量长期的实验，发现按照上述配料比例和投料顺序，并在熔炼和精炼过程中严格控制各合金组元的熔炼温度和熔炼时间所获得的合金靶材，完全可以取代现有技术中的银靶材，并能克服银靶材所存在的技术缺陷。即，通过对不同组分的合金配合不同的熔炼温度和熔炼时间，使获得的合金溅射靶材具有优异的性能。

发明人对由上述方法制得的溅射靶进行了光谱检测，使用仪器为ICP-OES。

前处理分析步骤：

一、制样：提取样品无污染部分粉碎或搅拌均匀，装入样品袋以待分析。

二、消解样品

通常称取0.1至0.2克样品进行消解，消解法样之方法通常有三种。

(1)酸消解法，主要对纯金属样品，要求样品能完全溶解于酸溶液中。

(2)干灰化法，主要对非金属可燃样品，以马弗炉将样品高温灰化，再加酸溶解，让被测元素都能溶于酸中，要求金属成分不能在高温中升华损失。

(3)微波消解法，该方法要使用到微波消解仪。此方法节约试剂，消解效果最好，但速度较慢，此外，速解样品不能用此方法，以免发生爆炸意外。

三、消解完样品之后，过滤并定容样品。

使用ICP-OES对样品进行分析的步骤如下：建立测试方法，以标准溶液建立标准曲线测试标准样品对标准曲线进行检验，测试样品，整理结果，出具报告。

反射：光学仪器

使用仪器：显微镜光度计，测试步骤：制样，样品抛光后，应放置在干燥器中10h或在30度到40度的烘箱中放置4小时，方可用于测试。将油浸液滴在已整平于载片上的样品抛光面上并将样品置于载台上，检查显微镜灯是否已调成克勒照明。标定仪器，选取两个反射率与试样的标准物质进行标定，显示读书与标准值之差不可大于2％方可对样品进行测量。测定样品。编制报告。