[发明专利]压电装置及压电装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及能够以晶片状态制造多个盖部及底部的压电装置及压电装置的制造方法。

背景技术

表面实装用的压电装置最好能够一次性地大量进行制造。专利文献1(日本特开2006-148758号公报)所示的压电装置，将形成有多个水晶振动片的水晶晶片夹持在与水晶晶片相同形状的盖部晶片与底部晶片之间进行制造。另外，在专利文献1的压电装置的制造方法中，通过在盖部晶片及底部晶片上形成开口部，在压电装置的四角上形成电连接水晶振动片的励振电极与外部电极的侧部配线。将以晶片为单位进行制造的压电装置分离成单体而完成制造。

但是，专利文献1的压电装置的制造方法，由于在盖部晶片及底部晶片的开口部上同时形成侧部配线，因此晶片上的相邻的压电装置通过形成在开口部上的侧部配线而相互连接。因此，若对于以晶片为单位进行制造的多个压电振动片中的一个压电振动片，抵接频率测定用的探针，则会受到相邻的压电振动片的影响。即，在公开于专利文献1中的压电装置或其制造方法中，不能分别对以晶片为单位进行制造的多个压电振动片的一个一个的压电振动片的频率进行测定并调整。因此，只能在将一个压电振动片从晶片中分离成单体后测定频率。

在以晶片为单位制造压电装置时，希望以晶片为单位测定压电振动片的频率，以晶片为单位调整压电振动片的频率后，将压电装置分离为单体而实 现其量产性。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种不受相邻的压电装置的影响，能够对形成于晶片上的多个压电装置的频率进行测定并调整的压电装置及压电装置的制造方法。

第1观点的压电装置，具备：具有形成在两主面的一对励振电极以及从一对励振电极引出的一对引出电极的压电振动片；以及具有形成在压电振动片一侧的第1面并与一对引出电极连接的一对连接电极以及形成在第1面的相反侧的第2面的两对实装端子，并且从上第1面观察具有四个边的四边形的底部。在底部的相互对向的两边上形成向底部的中心侧洼进的两对侧槽以及在两对侧槽上连结第1面和第2面的两对侧面电极。另外，两对侧面电极中的一对分别与一对连接电极以及两对实装端子中的一对连接。

第2观点的压电装置，两对实装端子包含与外部通电的一对外部电极以及用于接地的一对接地电极，一对外部电极以及一对接地电极相互配置在第2面的对角线上。

第3观点的压电装置，两对实装端子包含与外部通电的一对外部电极以及用于接地的一对接地电极，一对外部电极形成在两边中的一侧，一对接地电极形成在两边中的另一侧。

第4观点的压电装置，底部具有从第1面凹进的凹部，压电振动片以一对引出电极与一对连接电极连接的方式利用导电性粘接剂配置在底部上。

第5观点的压电装置，具备接合在底部的第1面上的四边形的盖部，盖部与底部由封装材料进行接合。

第6观点的压电装置，压电振动片具有形成一对励振电极的振动部以及形成引出电极且包围振动部的四边形的框体，压电振动片以一对引出电极与一对连接电极连接的方式进行配置。

第7观点的压电装置，具备接合在框体的一侧的主面上的盖部，盖部与框体的一侧的主面由封装材料进行接合，框体的另一侧的主面与底部由封装材料进行接合。

第8观点的压电装置，连结第1面与第2面的侧槽的侧面的剖面具有从第1面至第2面的中央部向外侧突出的突出部。

第9观点的压电装置的制造方法是具有两对实装端子的压电装置的制造方法。该压电装置的制造方法具备：准备压电振动片的压电振动片的准备工序，该压电振动片具有形成在两主面的一对励振电极以及从一对励振电极引出的一对引出电极；准备底部晶片的底部晶片的准备工序，该底部晶片包含具有第1面及第1面的相反侧的第2面的四边形的第1底部及第2底部且在相邻的第1底部与第2底部的共有的一边上形成有从第1面贯通至第2面的一对贯通孔；电极形成工序，在底部晶片的一对贯通孔的侧面形成一对侧面电极，在第2面的一对贯通的的周围形成第1底部的实装端子及第2底部的实装端子；放置工序，以压电振动片的一对引出电极与第1底部的实装端子及第2底部的实装端子连接的方式，将压电振动片配置在第1底部及第2底部上；以及第1测定工序，通过实装端子测定放置在第1底部上的压电振动片的频率及放置在第2底部上的压电振动片的频率。两对实装端子包含与外部导通的一对外部电极以及用于接地的一对接地电极，电极形成工序，在一对侧面电极中的一侧形成第1底部的外部电极与第2底部的接地电极，在一对侧面电极中的另一侧形成第1底部的接地电极与第2底部的外部电极。