[发明专利]一种制作太阳能电池的扩散方法

权利要求书

1.一种制作太阳能电池的扩散方法，其特征在于，包括：

将待处理的硅片放入扩散炉中，将所述扩散炉的温度升高至第一设定温度；

在所述第一设定温度下，向所述扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在所述硅片表面进行磷源扩散；

将所述扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向所述扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至所述硅片内部；

降低所述扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一设定温度为小于或等于790度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二设定温度为790～900度。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二设定温度为860度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述第一设定温度下，通入所述扩散炉中的携磷源气体的体积与氧气的体积之比为4∶1～5∶1。

6.根据权利要求1或5所述的方法，其特征在于，在所述硅片表面进行磷源扩散的时间为12至15分钟。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进行推结过程中向所述扩散炉中通入的氧气的量为向所述扩散炉中通入的携磷源气体和第一次通入的氧气的量之和。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述进行推结的时间为12至15分钟。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述携磷源气体为携带POCl3的氮气。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，向扩散炉中通入的氮气的流量大于5L/min。