[发明专利]一种微米尺度散斑的制作方法

权利要求书

1.一种微米尺度散斑的制作方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)粉末颜色的选择：根据待测试件的颜色，选择与试件颜色不同颜色的粉末；

2)粉末颗粒大小的选择：根据最优散斑大小和显微镜放大倍数下每像素对应的尺寸，得出粉末颗粒大小与放大倍数的对应关系曲线，再根据所观察的待测试件的放大倍数，利用对应关系曲线得到相应的粉末颗粒大小；

3)将环氧固化剂溶液和粉末按体积质量比混合放入试管内，将试管放入离心机进行气泡消除，离心时间为1分钟～28分钟；所述的环氧固化剂溶液与粉末的体积质量比为1ml∶0.03g～0.1g；

4)对待测试件进行抛光后放置在甩胶机上，利用吸管将离心后的混合液滴在待测试件的中心位置，将混合液均匀地涂覆在试件表面，甩干液体，甩胶速度为2000转/分～4000转/分；

5)将甩好的待测试件放置在烘箱内，进行环氧固化；

6)根据粉末颗粒大小与放大倍数的对应关系设定显微镜放大倍数，将环氧固化后的试样放在显微镜下进行观察，在环氧固化剂溶液与粉末的体积质量比所述的范围内，不断调节粉末与环氧固化剂的配比、离心时间和甩胶速度，得到多幅不同大小和密度的表面散斑图，并记录每幅表面散斑图所对应的粉末与环氧固化剂的配比、离心时间和甩胶速度，再通过平均梯度平方和原理对每幅表面散斑图进行评价，得到对应的平均灰度梯度平方和，将平均灰度梯度平方和最大值的表面散斑图作为所制作的微米尺度散斑；

平均灰度梯度平方和表达式如下：

δg=Σi=1MΣj=1N|Δg(xij)|/(M×N)]]>

M和N分别为散斑图的高度和宽度，单位为像素，Δg(x_ij)为局部灰度梯度向量。

2.按照权利要求1所述的一种微米尺度散斑的制作方法，其特征在于：所述的待测试件采用硅片、玻璃、金属、半导体、薄膜或聚合物材料。

3.按照权利要求1所述的一种微米尺度散斑的制作方法，其特征在于：所述的环氧固化剂与粉末体积质量比为3ml∶0.2g，环氧固化剂离心时间为24分钟，甩胶速度为3000转/分。