[发明专利]弹性波器件

说明书

技术领域

本发明涉及具备IDT(叉指式换能器，interdigitated transducer)电极的弹性波器件。

背景技术

近年来，随着便携式电话等通信设备使用的频带的高频化(高域化)，对该通信设备上搭载的SAW(Surface Acoustic Wave，表面弹性波，声表面波)滤波器或者SAW双工器等弹性波器件也提出了高频化要求。因此，在该通信设备上搭载的例如图18所示的纵模谐振器型滤波器中，IDT(叉指式换能器)电极102上的电极指100、100间的尺寸变得非常狭窄(传播的弹性波的波长短)。

这样随着电极指100、100之间的分离尺寸变窄，静电放电(ESD：Electrostatic Discharge)等高电压例如发生在互相相邻的电极指100、100之间时，电流就很容易从这些电极指100、100之间流过。另外，由于在相互间电位不同的部位例如两个IDT电极102、102之间，如图18的下侧所示，产生电容成分C，因此，随着该IDT电极102、102之间的分离尺寸(弹性波的波长)变小，电容成分C变大，容易通过ESD通电。

于是，对于IDT电极102，公开有为了抑制ESD发生的通电，例如使电流容易流过的边缘部带有圆度的方法，但是抑制器件的静电击穿依然困难。另外，去掉两个IDT电极102、102中互相相邻的电极指100、100中的一个，即，使IDT电极102、102分离的情况下，就会形成弹性波不被激励的区域，由于寄生(spurious)(信号强度部分地增减)的发生，传输频带上的频率特性的平坦性就会变差。

在专利文献1中，记载有通过将第二电极指24a的前端部25延伸到假想延长线18上，将第一汇流条12和第三汇流条32之间的距离L2加长，提高这些汇流条12、32间的ESD耐性的技术，但对于第二电极指24和第三汇流条32之间的ESD并未言及。另外，如专利文献1所述，将电极指14、24之间的交叉宽度设为比汇流条12、22之间的分离尺寸(开口长度)短的情况下，在第二电极指24和与该第二电极指24相邻的第四虚设电极指46之间，弹性波被激励，产生不需要的纵模寄生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2009-38718(段落0025～0026、图3)

发明内容

发明要解决的课题

本发明基于这样的情况而完成，其目的在于提供一种抑制传输频带中的频率特性的平坦性的劣化，同时ESD耐性优异的弹性波器件。

本发明的弹性波器件，其特征在于：

在共用的压电基板上，形成沿着弹性波的传播方向相互分离排列的多个IDT电极，和以从弹性波的传播方向的两侧夹着这些多个IDT电极的方式配置的栅状反射器，

上述多个IDT电极各自具备与信号端口和接地端口的一方和另一方分别连接的一对汇流条，和从这些汇流条的各个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，并且，设定每个IDT电极的电极指的排列图案和彼此相邻的IDT电极之间的分离尺寸，使得这些IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

上述栅状反射器各自具备分别沿着上述电极指的长度方向伸出并在弹性波的传播方向相互分离配置的多根栅状电极指，和分别连接这些栅状电极指的各个的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，并且，以上述栅状电极指的排列及与相邻于各栅状反射器的IDT电极之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式形成，

在彼此相邻的两个IDT电极中的一侧的IDT电极中，将与另一侧的IDT电极相邻的电极指称为第一端部电极指时，在该一侧的IDT电极的一对汇流条中与连接有上述第一端部电极指的汇流条相对的汇流条，以上述另一侧的IDT电极侧的端部与上述第一端部电极指的前端部的延长区域相比更靠上述一侧的IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制在上述一侧的IDT电极和上述另一侧的IDT电极之间电位不同的部位相互间的静电击穿，在上述延长区域形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第一浮置虚设电极，

该第一浮置虚设电极以宽度尺寸和该第一浮置虚设电极的两侧的IDT电极之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式分别形成，并且，成为从上述多个IDT电极、上述信号端口、上述接地端口和上述栅状反射器分别电浮置的状态。

作为上述弹性波器件的具体的方式，也可以如下构成。