[发明专利]固态超级电容器及其制作方法

权利要求书

1.一种固态超级电容器，其特征在于，包含：

一第一纳米线丛电极，包含一第一电极与一第一纳米线丛，该第一纳米线丛自该第一电极垂直延伸出，并包含多条互相间隔的第一纳米线；

一第二纳米线丛电极，包含一第二电极与一第二纳米线丛，该第二电极平行该第一电极设置，该第二纳米线丛自该第二电极垂直延伸出，与该第一纳米线丛间隔，并包含多条互相间隔的第二纳米线；以及

一介电材料，设置于该些第一纳米线的间隙、该些第二纳米线的间隙以及该第一纳米线丛电极与该第二纳米线丛电极的间隔内。

2.一种固态超级电容器的制作方法，其特征在于，包含以下步骤：

(a)于一基板的表面形成一第一电极、一第二电极与多个纳米孔洞，且于该第一电极与该第二电极上披覆一背胶；

(b)将一电极材料填于该些纳米孔洞内，以形成相互间隔的一第一纳米线丛与一第二纳米线丛，该第一纳米线丛具有多条第一纳米线，并与该第一电极电性连接，藉以形成一第一纳米线丛电极，该第二纳米线丛具有多条第二纳米线，并与该第二电极电性连接，藉以形成一第二纳米线丛电极；

(c)将该基板去除；以及

以一介电材料填满该些第一纳米线的间隙、该些第二纳米线的间隙以及该第一纳米线丛电极与该第二纳米线丛电极的间隔内。

3.根据权利要求2所述的固态超级电容器的制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极分别设置于该基板的一上表面与一下表面。

4.根据权利要求2所述的固态超级电容器的制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极设置于该基板的同一表面之上。

5.一种固态超级电容器的制作方法，其特征在于，包含以下步骤：

(a)于一基板的表面形成一第一电极、一第二电极与多个纳米孔洞，且于该第一电极与该第二电极上披覆一背胶；

(b)将一电极材料填于该些纳米孔洞内，以形成相互间隔的一第一纳米线丛与一第二纳米线丛，该第一纳米线丛具有多条第一纳米线，并与该第一电极电性连接，藉以形成一第一纳米线丛电极，该第二纳米线丛具有多条第二纳米线，并与该第二电极电性连接，藉以形成一第二纳米线丛电极；

(c)对该基板进行一介电化处理，以形成一介电材料。

6.根据权利要求5所述的固态超级电容器的制作方法，其特征在于，该介电化处理包含烧结、固化与烘烧中的至少一个。

7.根据权利要求5所述的固态超级电容器的制作方法，其特征在于，于步骤(c)之前还包含将该基板与至少一金属溶液混合沉积。