[发明专利]一种摩托车片式氧传感器的制作方法

权利要求书

1.一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：其利用多层工艺加工方法在氧化锆陶瓷基体中布设敏感元件及参比气体通道、在氧化锆陶瓷基体的内部植入膜式加热器，其工艺步骤包括：落片、打孔、填孔、印刷、叠片、热压、切割、烧结。

2.根据权利要求1所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：各个所述的工艺步骤：①落片：将氧化锆流延瓷片切割为加工所需尺寸的方片；②打孔：在两片上述的方片上分别制作互连通孔、在另一片上述的方片上开设参比气体通道；③填孔：在所述的互连通孔中填充能够实现内外连通的金属材料；④印刷：在上述的方片表面通过丝网印刷工艺沉积对应的材料而形成测试电极、参比电极、膜式加热器、膜式加热器引线、绝缘介质层、膜式加热器引脚及测试电极保护层；⑤叠片：将④处理后的各个方片按次序进行叠片；⑥热压：在压力作用下将堆叠的方片压制成致密氧化锆陶瓷片；⑦切割：将⑥处理后的陶瓷片切割为氧传感器单元；⑧烧结：将⑦中切割后的氧传感器单元进行烧结而制成以氧化锆陶瓷基体为基础的具有电路功能的摩托车片式氧传感器。

3.根据权利要求2所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的膜式加热器由裸露于空气中的所述的膜式加热器引脚、包裹在两层绝缘介质层之间的加热器电阻、所述的膜式加热器引线、所述的互连通孔以及加热器承载氧化锆陶瓷基体组成。

4.根据权利要求3所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的加热器电阻为“蛇形”电阻，所述的加热器电阻阻值为3-12Ω，所述的加热器电阻线宽为0.1-0.5mm，所述的加热器电阻线间距为0.2-1mm。

5.根据权利要求2所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的参比气体通道为形成在该摩托车片式氧传感器的氧化锆陶瓷基体内部的腔体，所述的腔体由所述的氧化锆陶瓷基体内部向外延伸、直至与外界大气相通，所述的参比气体通道的内端部呈圆柱面。

6.根据权利要求5所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的参比气体通道宽度为0.5-5mm、长度为18-58mm、厚度为0.05-5mm。

7.根据权利要求2所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的测试电极、参比电极、参比电极引脚、所述的参比电极与参比电极引脚之间的所述互连通孔、所述的参比电极与测试电极之间的氧化锆陶瓷基体组成所述的敏感元件。

8.根据权利要求7所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的测试电极及参比电极由可印刷的铂浆印刷制成，二者的电极敏感区宽度为0.5-6mm、长度为3-18mm，二者的电极连接引线宽度为0.1-2mm。

9.根据权利要求2所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的致密氧化锆陶瓷片的宽度为1.5-6mm、长度为20-60mm、厚度为0.5-2mm。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的一种摩托车片式氧传感器的制作方法，其特征在于：所述的氧化锆陶瓷基体的厚度为0.05-0.5mm。