[发明专利]一种外延片退火方法

权利要求书

1.一种外延片退火方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、提供一个外延片，在外延片的p型氮化物表面布置至少一个导电球，所述导电球与外延片的p型氮化物表面紧密接触，然后将导电球与退火炉内的低压交流电电极连接；

S2、在退火炉内通入N₂和O₂的混合气体，将退火炉内的温度升到800-1000℃的高温状态；

S3、打开退火炉传送门，将放置有外延片的载物台快速推进退火炉内并关闭，让外延片在通有交流电的短时间高温状态下完成退火；

S4、将退火炉的温度降到450-650℃的低温状态，提高O₂在混合气体中所占的比例；

S5、让外延片在通有交流电的低温状态下完成退火，然后将退火炉传送门打开，取出外延片。

2.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S1中，所述导电球为铟球、金球和银球中的一种。

3.根据权利要求2所述的外延片退火方法，其特征在于，所述导电球为铟球，通过按压将铟球布置在外延片的p型氮化物表面。

4.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S1中，所述外延片的p型氮化物表面布置有四个导电球，该四个导电球分布于外延片半径的四个平分点上。

5.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S1中，所述外延片的p型氮化物表面布置有八个导电球，该八个导电球分布于外延片半径的八个平分点上。

6.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S1中，所述低压交流电电极的电压为5-15伏。

7.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S2中，所述O₂在混合气体中所占的体积比为2-5%。

8.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S3中，所述外延片在高温状态下退火的时间为30-60秒。

9.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S4中，所述O₂在混合气体中所占的体积比为35-50%。

10.根据权利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步骤S5中，所述外延片在低温状态下退火的时间为3-6分钟。