[发明专利]一种太阳能光伏玻璃镀膜预加热装置

说明书

技术领域

本发明关于一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，特别关于一种PECVD真空腔体将以加热被处理物为目的所放射的光照射于被处理物所用的加热器。 

背景技术

当前，一般在PECVD制程中，在成膜、结晶化、等各种处理中，采用者加热处理。为了提升成膜的品质，在实用上，使用来自白热灯等的光源的光照射的光照射式加热处理装置被广泛地使用。于光透射性材料所构成的发光管内部配设灯丝所成的白热灯，是投入电力的90%以上被全放射，不接触被处理物而可加以加热，因此可将光利用作为热的代表性的灯。将此种白热灯使用作为太阳能光伏玻璃的加热用热源时，与电阻加热法相比较可高速降温被处理物的温度。 

在此，被处理物为例如太阳能光伏玻璃时，若加热产生温度分布不均匀，则于太阳能光伏玻璃发生所谓成膜分步步均匀现象，亦即发生膜厚及结晶化随着温度不同做不同程度的变化，导致无法控制太阳能光伏玻璃整面的均匀度。为此，使用光照射式加热处理装置，进行太阳能光伏玻璃成膜前加热时，能使太阳能光伏玻璃全面的温度分布成为均匀地，乃藉其多年于相关领域的制造及设计经验和知识的辅佐，并经多方巧思，而研创出本创作。 

发明内容

本发明在于提供一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其主要目的系为了提供一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，但是在上述习知的加热装置中判明了会产生如下所示的问题。具体上，例如被处理物为太阳能光伏玻璃时，一般于太阳能光伏玻璃表面藉由沈积法等形成的薄膜，受到此些主要原因的影响而于太阳能光伏玻璃表面产生温度分布的情形。 

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其特征在于两组灯丝组，每组灯丝组再细分成五小组，涵盖整个太阳能光伏玻璃表面积，且每小组分别独立供电，独立控温，依照本发明的加热器，于光透射性材料所构成的发光管内部配设有灯丝，通入电源后，既产生光照进而产生热源。因此，使用具有本发明的加热器的光照射式加热装置未加热处理被处理物之际，即使在被处理物中，在某范围温度分布成为不均匀，也可调整位于该范围的加热器对于灯丝的电源调整。藉此，与使用习知构造的电阻式加热装置的情形相比较，可调整被处理物上的某范围的温度，而在被处理物整体上可实现均匀的温度分布。又，可仅上升所需部位的温度，而将所需要的电能抑制在最小限度，因此在环境保护的观点上也优异。又，依照具有上述灯单元的加热装置，成为可将自灯单元仅隔开所定距离的被处理物上的照度分布设定成精密且任意的分布。因此，成为可将被处理物上的照度分布对于被处理物形状设定成非对称。为此，即使被热处理的被处理物的基板上的部位性的温度变化程度的分布对于基板形状成为非对称时，也对应于此，成为可设定被处理物上的照度分布，而成为可均匀地加热被处理物。 

实施方式 

下面结合附图对本发明做进一步说明：请参阅第1图所示，为一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置于真空腔体内布置图，其包括真空腔体剖面11、上加热灯丝组12、下加热灯丝组13、太阳能光伏玻璃（被处理物）14。据此，当使用实施时请参阅第2图所示，上下灯丝组细分成五小组灯丝组，其中，上灯丝组21、中灯丝组22、下灯丝组23、左灯丝组24及右灯丝组25所组成。如图2所示，上、中、下灯丝组每组共有6支灯丝，交叉分布于每小组，左右两组灯丝组以个2支交叉分布于其中。请参阅第3图所示，其中主控制部分用以控制电源，电源控制部分分别控制每小组输出电源，每小组可依温度控制部分实际测量的温度回馈给主控制部分，做为每小组输出独立控制。

本发明在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合发明专利之申请要件，惟上列详细說明系针对本发明之一可行实施例之具体說明，该实施例并非用以限制本发明之专利范围，而凡未脱離本发明技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中，第1图系为本发明之一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置于真空腔体内布置图。第2图系为本发明之一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置示意图。第3图系为本发明之一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置控制方块图。 

主要组件符号说明：11．．．真空腔体剖面12．．．上加热灯丝组13．．．下加热灯丝组14．．．太阳能光伏玻璃（被处理物）21．．．上灯丝组22．．．中灯丝组23... 下灯丝组24... 左灯丝组25... 右灯丝组。