[发明专利]洁净间用气流组织测试方法及装置系统

权利要求书

1.一种洁净间用气流组织测试方法，其特征在于，用热成像设备探测样品气体在洁净间形成的样品气流，所述样品气体为与环境气体存在温差的气体。

2.根据权利要求1所述的洁净间用气流组织测试方法，其特征在于，测试方法包括下述步骤：

释放与环境气体存在温差的样品气体，所述样品气体随洁净间气流形成样品气流；

热成像设备连续探测样品气体所到达的空间位置，得到红外辐射能量分布图形；

光敏元件和视频转换器扫描红外辐射能量分布图形得到红外热像图；

根据红外热像图的空间和时间对应变化关系计算得到测试区域风速和三维风向结果。

3.根据权利要求2所述的洁净间用气流组织测试方法，其特征在于：所述计算的方法为：单位时间内被探测样品气体所移动的距离等于测试区域风速；以热成像设备为基准点，单位时间内被探测样品气体与所述基准点的相对位置变化为测试区域的三维风向。

4.根据权利要求1所述的洁净间用气流组织测试方法，其特征在于：所述样品气体的密度与环境气体的密度相当。

5.一种洁净间用气流组织测试装置系统，其特征在于，所述装置系统包括样品气体发生器和热成像设备，所述样品气体发生器发出与环境气体存在温度差的样品气体，所述热成像设备能连续探测样品气体的空间位置并显示在显示器上。

6.根据权利要求5所述的洁净间用气流组织测试装置系统，其特征在于：所述样品气体为液氮、干冰或水蒸汽。

7.根据权利要求5所述的洁净间用气流组织测试装置系统，其特征在于，所述温度探测装置包括：红外探测器、光敏单元、视频转换器和显示器；

红外探测器，作为热成像设备连续探测样品气体所到达的空间位置，得到红外辐射能量分布图形；

光敏单元，扫描红外辐射能量分布图形得到电信号；

视频转换器，将所得到的电信号转换成为红外热像图，显示在显示器上。

8.根据权利要求5所述的洁净间用气流组织测试装置系统，其特征在于：所述系统内设有温度变化校正单元，根据样品气体温度变化补偿红外热像图的显示颜色。