[发明专利]一种铜锌锡硒薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种铜锌锡硒薄膜的制备方法，包括如下顺序的步骤：

a.基片的清洗；

b.将ZnCl₂、SnCl₂·2H₂O、CuCl₂·2H₂O、SeO₂放入40～130份的溶剂中，使溶液中的物质充分溶解，并调整pH值至3～10；

c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片，并烘干，得到前驱体薄膜样品；

d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触；

e.将步骤d所得物，进行干燥，得到铜锌锡硒薄膜。

2.如权利要求1所述的铜锌锡硒薄膜的制备方法，其特征在于，步骤a所述洗涤，是将大小为2mm×2mm玻璃片或硅片，放入体积比三氯甲烷∶乙醇＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再将玻璃片或硅片放入丙酮∶蒸馏水＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再在蒸馏水中将基片用超声波振荡；将上述得到的基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用。

3.如权利要求1所述的铜锌锡硒薄膜的制备方法，其特征在于，步骤b所述的ZnCl₂1.0～2.0份、SnCl₂·2H₂O 2.0～3.0份、CuCl₂·2H₂O 1.5～4.0份、SeO₂1.0～5.0份。

4.如权利要求1所述的铜锌锡硒薄膜的制备方法，其特征在于，步骤b所述的溶剂为去离子水、乙醇、氨水、盐酸中至少一种。

5.如权利要求1所述的铜锌锡硒的制备方法，其特征在于，步骤c所述均匀涂抹的基片，是通过匀胶机涂抹，匀胶机以200～3500转/分旋转，然后对基片进行烘干后，再次如此重复5～15次，得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。

6.如权利要求1所述的铜锌锡硒薄膜的制备方法，其特征在于，步骤d所述密闭容器内放入15.0～30.0份水合联氨。

7.如权利要求1所述的铜锌锡硒薄膜的制备方法，其特征在于，步骤e所述干燥为放入烘箱中，加热至160～220℃之间，保温时间10～20小时，然后冷却到室温取出。