[发明专利]高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法有效
| 申请号： | 201110292797.3 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102431954A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 汤儆;杜琳;肖孝建;吴挺 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高频 交流电 加热 技术 应用于 zno 基底 电化学 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：提供含有NaNO2的蚀溶液；
步骤2：提供一高频交流电升温装置和一扫描化学显微镜，将所述高频交流电升温装置的加热微电极固定在该扫描化学显微镜上；
步骤3：将合成ZnO的纳米线或薄膜作为微加工的基底置于所述蚀溶液中，利用扫描电化学显微镜的逼近装置，使所述加热微电极接近ZnO基底，然后调节加热微电极的温度，从而对ZnO基底进行微加工。
2.根据权利要求1所述的高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于：所述的蚀溶液的NaNO2浓度为0.04mol/L~1 mol/L。
3.根据权利要求1所述的高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于：所述的高频交流电升温装置包括一高频信号发生器，通过该高频信号发生器调节输出频率以控制加热微电极的温度。
4.根据权利要求3所述的高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于：所述的输出频率范围为：10~2000MHz。
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