[发明专利]一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置。

背景技术

激光调阻原理是利用高能激光脉冲烧蚀电阻器表面电阻材料，使电阻阻值升到标称阻值及精度范围。所以对激光的控制，关系到被修调电阻的精度、激光切槽质量及激光修阻效率。一般而言，对激光控制主要包括激光开闭控制和激光定位扫描的控制。其中激光开闭控制由电阻测量精度判断及切口限止长度逻辑控制；激光扫描的控制主要是激光脉冲率即每秒内激光的脉冲数(Q_RATE)、激光吃进尺寸即相邻激光光斑之间的距离(BITE_SIZE)、激光切刀方式等控制。激光Q_RATE、激光BITE_SIZE决定激光扫描速度及切槽质量。

现有技术中，激光调阻机对激光调阻过程的控制是由PC主机运行电阻测试设备及PC扩展卡设备驱动软件实现的，由于无法做到硬件同步，故采用“开始-停止-测量”调阻模式。具体的，主机通过IO扩展卡向Q驱动器的EXT.TRG端输入高电平或低电平信号来控制激光的开闭。在激光调阻时对激光开闭的控制一般基于两种情况，一是阻值是否已达到要求的阻值或精度，若未达到则开启激光脉冲；若已达到则关闭激光。二是切割线长度是否超过定义的限止长度，若未超过则继续激光；否则停止激光。

由于现有调阻机电阻的测量是通过主机与电阻测量仪建立通讯并运行其外设驱动程序执行测量命令而进行的。与此同时，对Q开关的控制也通过IO扩展卡及其驱动程序执行而进行。多进程操作系统环境下，当主机在运行激光调阻应用程序时，由于系统资源动态变化，往往在执行激光调阻扫描程序时，还会运行其他程序，导致激光Q_RATE较低，还会出现激光扫描时快时慢(Q_RATEt和BITE_SIZE非线性)的现象。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，能够提高激光调阻机的修调电阻的效率。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，包括：第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路；

所述第一方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第一方向上的脉冲输出；所述第二方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第二方向上的脉冲输出；所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述时钟信号发生电路分别与所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路相连，为所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路提供时钟信号。

优选的，所述第一方向激光控制电路包括：第一方向目标长度生成器、第一方向吃进尺寸生成器和第一方向脉冲率生成器。

优选的，所述第二方向激光控制电路包括：第二方向目标长度生成器、第二方向吃进尺寸生成器和第二方向脉冲率生成器。

优选的，所述时钟信号发生电路包括：2MHz时钟发生器。

优选的，所述脉冲输出电路包括：测量同步脉冲输出电路和激光脉冲输出电路。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

本发明所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，采用第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路等硬件电路，实现了对激光调阻机的阻值修调过程的控制，使得本发明所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，不再依赖于计算机等的操作系统，提高了激光调阻机的测量电阻的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置结构图；

图2为激光调阻控制装置第一部分电路图；

图3为激光调阻控制装置第二部分电路图；

图4为激光调阻控制装置第三部分电路图；

图5为激光调阻控制装置第四部分电路图；

图6为激光调阻控制装置第五部分电路图；

图7为脉冲输出电路图；

图8为复位电路电路图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。