[发明专利]ESI离子源、用于其的可控高压直流电源

权利要求书

1.一种用于ESI离子源的高压直流电源，其特征在于，包括：

振荡模块，所述振荡模块用于进行自激振荡以生成开关信号；

开关模块，所述开关模块与所述振荡模块相连，用于在所述开关信号的控制下交替导通以输出初始交流电压；

升压模块，所述升压模块与所述开关模块相连，用于将所述初始交流电压进行升压，得到二次交流电压；

倍压整流模块，所述倍压整流模块与所述升压模块相连，用于对所述二次交流电压按照预设倍数进行升压，并将升压后的电压进行整流以输出直流电压；

滤波模块，所述滤波模块与所述倍压整流模块相连，用于将所述直流电压进行滤波；

输出模块，所述输出模块与所述滤波模块相连，用于输出所述滤波后的直流电压。

2.如权利要求1所述高压直流电源，其特征在于，所述振荡模块包括多谐振荡器和D触发器。

3.如权利要求2所述的高压直流电源，其特征在于，所述多谐振荡器包括CMOS施密特触发器。

4.如权利要求1所述的高压直流电源，其特征在于，所述开关模块包括第一场效应管和第二场效应管，其中，所述振荡模块的输出端分别与所述第一场效应管的栅极以及所述第二场效应管的栅极相连，所述第一场效应管的漏极和所述第二场效应管的漏极分别输出初始交流电压。

5.如权利要求4所述的高压直流电源，其特征在于，所述升压模块的输入端分别与所述第一场效应管的漏极和所述第二场效应管的漏极相连，用于将所述初始交流电源进行升压，得到二次交流电压。

6.如权利要求5所述的高压直流电源，其特征在于，所述升压模块为高频变压器，所述高频变压器的初级侧的两个抽头分别与所述第一场效应管的漏极和所述第二场效应管的漏极相连，所述高频变压器的次级侧的一个抽头与所述倍压整流模块相连。

7.如权利要求1所述的高压直流电源，其特征在于，所述滤波模块为RC滤波网络。

8.如权利要求6所述的高压直流电源，其特征在于，进一步包括：

电流检测模块，所述电流检测模块与所述升压模块的次级侧的一个抽头相连，用于检测所述升压模块的输出电流；

电压检测模块，所述电压检测模块与所述滤波模块的输出端相连，用于检测滤波后的直流电压；

控制模块，所述控制模块分别与所述电流检测模块和所述电压检测模块相连，用于获取所述电流检测模块检测到的输出电流和所述电压检测模块检测到的滤波后的直流电压，在所述控制模块内预设有调节电压初始值；

电压调节模块，所述电压调节模块的输入端分别与所述控制模块和所述滤波模块的输出端相连，所述电压调节模块的输出端与所述升压模块的次级侧的中间抽头相连，用于将来自所述控制模块的所述滤波后的直流电压和所述调节电压初始值进行误差比较放大以获得调整后的调节电压，并将所述调整后的调节电压输出至所述高频变压器的初级侧以调节所述初始交流电压。

9.如权利要求8所述的高压直流电源，其特征在于，进一步包括：

极性调节模块，所述极性调节模块的输入端与所述控制模块的输出端相连，所述极性调节模块的输出端分别与所述电流检测模块的输入端、所述电压调节模块的输入端、所述倍压整流模块的输入端相连，用于输出电平相反的两个信号，通过对所述电平相反的两个信号进行高低电平切换以对所述电压调节模块、所述电流检测模块和所述倍压整流模块的输出信号的极性进行调节。

10.如权利要求8所述的高压直流电源，其特征在于，进一步包括：关断控制模块，所述关断控制模块的输入端与所述控制模块相连，所述关断控制模块的输出端分别与所述振荡模块和所述电压调节模块相连，用于在所述控制模块输出的关断控制信号的控制下关断所述开关模块输入至所述升压模块的开关信号，以及所述电压调节模块输入至所述升压模块的调节电压。