[发明专利]具有微波能输送装置的微波等离子体源

权利要求书

1.微波等离子体源，其具有微波能输送装置，所述微波能输送装置用于将微波能从微波供应器(1)经由波导过渡接头和同轴导体系统输送到保护管(3)内部的内导体(2)，该保护管设置在真空室(4)内部并且相对于大气密封，其特征在于，所述内导体(2)和保护管(3)终结且保持在真空室(4)的真空侧的平面内；有在一边无电位地接地的波导过渡接头；在内导体(2)的轴向上设置作为同轴内导体的导管(8)，所述导管沿轴向在同轴外导体(6)内部延伸直到真空室(4)的真空侧的平面；并且在导管(8)内部设置可移动的导体棒(18)，使得导体棒能与内导体(2)接触。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体源，其特征在于，有锥形过渡接头作为在一边无电位地接地的波导过渡接头(9)。

3.根据权利要求1所述的微波等离子体源，其特征在于，有λ/4管接头或者λ/4滑动件作为在一边无电位地接地的波导过渡接头。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体源，其特征在于，至少两个内导体(2)并联地设置。

5.根据权利要求1至4之一所述的微波等离子体源，其特征在于，所述内导体(2)能在一边与一个微波供应器连接，或者能在两边分别与一个微波供应器连接。

6.根据权利要求4或5所述的微波等离子体源，其特征在于，有用于将至少两个并联的内导体(2)先后依次地和/或换边地与一个或者多个微波供应器连接的构件。

7.根据权利要求4所述的微波等离子体源，其特征在于，至少两个并联的内导体(2)构成一个共同的平面。

8.根据权利要求1所述的微波等离子体源，其特征在于，为了将内导体(2)和保护管(3)保持在真空室(4)内部，设有联接器，该联接器具有至少一个带联接环(12)的锁紧螺母(11)，所述锁紧螺母拧接在连接管接头上。

9.根据权利要求1所述的微波等离子体源，其特征在于，为了将内导体(2)和保护管(3)保持在真空室(4)内部，设有带卡口式接头(35、36)的器具。

10.根据权利要求1至9之一所述的微波等离子体源，其特征在于，所述导体棒(18)构造成，使得该导体棒能插入内导体(2)中。

11.根据权利要求1至10之一所述的微波等离子体源，其特征在于，所述导体棒(18)在导管(8)内部绝缘地引导。

12.根据权利要求11所述的微波等离子体源，其特征在于，所述导体棒(18)与交流电压源连接。

13.根据权利要求4至12之一所述的微波等离子体源，其特征在于，每两个并联的内导体(2)通过所属的导管(8)、波导过渡接头(28)以及通过横向件(31)与居中的微波输送部(30)连接，并且如此构成的二路微波分配器能与一个微波供应器耦合。

14.根据权利要求13所述的微波等离子体源，其特征在于，有λ/4管接头和/或λ/4滑动件作为波导过渡接头(28)。

15.根据权利要求4至14之一所述的微波等离子体源，其特征在于，两个内导体(2)在一边或者两边与二路微波分配器连接，所述二路微波分配器能与微波供应器连接。

16.根据权利要求4至15之一所述的微波等离子体源，其特征在于，至少四个内导体(2)先后依次地设置在一个真空室中，此时，每两个先后依次设置的内导体(2)构成一组，这些组分别在一边或者两边与二路微波分配器连接，所述二各微波分配器能与微波供应器连接。

17.根据权利要求4至15之一所述的微波等离子体源，其特征在于，至少两个二路微波分配器换边地设置在一个真空室中并且分别与一个微波供应器连接，使得至少四个先后依次在两组中设置的内导体(2)能分别在一边被供应微波能。

18.根据权利要求4至15之一所述的微波等离子体源，其特征在于，至少两个二路微波分配器先后依次地、换边地和嵌套地设置在一个真空室上，并且能分别与一个微波供应器连接，使得至少四个内导体(2)能被供应微波能，内导体(2)的间距大约等于一个二路微波分配器的各导管(8)的轴线的间距的一半。