[发明专利]探针卡升降机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针卡升降机构，尤其涉及一种激光调阻机探针卡升降机构。

背景技术

在激光调阻过程中，测量电路对每个电阻的测量连接是通过探针进行的。所谓探针是测量电路对电阻进行测量所用的测量针。其中，所述探针一端接触电阻两端金属端(或与该电阻相连的金属焊盘)，另一端通过卡座及电缆线与继电器矩阵单元测量端相连。所述探针卡是用来焊接探针的PCB板卡。

一般的激光调阻机在工作台进入、步进或退出激光调阻区域时，探针卡必须上抬以免探针损坏或探针接触被测电阻基片而影响工作平台的准确移动。同理，当系统需对电阻进行测量(调阻)时，探针必须下压至相应测量电阻的两端头并保持良好接触。探针卡的升降动作关系到整个调阻进程的快慢、接触电阻的大小、探针的使用寿命、工作平台平移的准确度及调阻机的工作噪声等。特别是对于多探针的多电阻测量时，为保证每个探针的有效良好接触，探针卡的平稳升降非常重要。

请参阅图1所示，现有技术中的一种探针卡升降机构包括探针卡1′、升降气缸2′、调节气缸升降的电磁气阀以及导轨与滑块组3′。所述激光调阻机探针卡升降机构是采用升降气缸2′达成探针卡1′的升降调节，具体是通过开关电磁气阀，使升降气缸2′来回动作，所述升降气缸2′的升降动作同时带动探针卡1′升降。但是，此种通过升降气缸2′调节探针卡1′升降的方式噪音大，升降动作不平稳，振动大，并且升降速度难控制。所述升降动作振动较大时，易影响工作平台准确定位及探针寿命。此种激光调阻机探针卡升降机构，如果升降动作快时，振动比较大；反之振动小时，升降动作慢，而且，该激光调阻机探针卡升降机构必须外接压缩气源。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有改良结构的激光调阻机探针卡升降机构，以克服上述缺陷。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种探针卡升降机构，该探针卡升降机构升降动作轻盈和顺且快而平稳，无振动，无噪声，升降速度软件可调。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种探针卡升降机构，其包括电动升降结构、手动调节结构、探针卡安装结构以及基座，所述探针卡安装结构包括若干探针、与探针焊接在一起的探针卡、与电动升降结构连接的安装架连接件以及连接探针卡与安装架连接件的探针卡安装架，所述电动升降结构包括步进电机、与步进电机连接的偏心轮组件以及升降板组件，所述探针卡通过安装架连接件与升降板组件连接，所述偏心轮组件将步进电机的旋转动作转换为升降板组件的升降动作，所述升降板组件升降带动探针卡升降。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述偏心轮组件包括偏心轮、旋转轴、联轴器，所述升降板组件包括升导向轮及降导向轮，所述偏心轮安装于旋转轴上，所述步进电机旋转时，所述联轴器跟着转动，所述联轴器转动带动旋转轴旋转，偏心轮跟着旋转轴同步旋转，所述偏心轮旋转带动升导向轮上升或降导向轮下降。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述升降板组件还包括基板、与基板连接的升降滑块组以及设于升降滑块组上的升降导轨，所述基板通过升降滑块组及升降导轨连接于第一手动升降板上，所述探针卡通过安装架连接件与所述基板连接，所述升导向轮和降导向轮安装于基板上。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述手动调节结构包括第一手动按钮，所述基座包括第一手动位置基座，所述第一手动位置基座设有用以安装步进电机的电机安装架、第一手动升降板以及第一滑块，所述第一手动升降板通过升降导轨与基板连接，所述第一手动按钮旋转带动第一滑块的升降，所述第一滑块升降带动探针卡升降。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述手动调节结构还包括第二手动按钮，所述基座还包括与第一手动位置基座连接的第二手动位置基座，所述第二手动位置基座设有第二滑块，所述第二手动按钮旋转带动第二滑块沿水平方向运动，所述第二滑块运动带动探针卡运动。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述手动调节结构还包括手动升降锁定按钮，所述手动升降锁定按钮在第一手动按钮调整结束后，对调整状态进行锁定。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述针卡安装结构还包括探针卡卡座，所述探针卡卡座将探针卡安装到探针卡安装架上。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述电动升降结构还包括连接偏心轮组件的轴承以及与轴承连接的轴承座。

优选的，在上述探针卡升降机构中，所述步进电机上设有用以传感探针卡所处位置状态的遮光片。