[发明专利]一种利用辉光颜色控制等离子刻蚀反应速率的方法

权利要求书

1.一种利用辉光颜色控制等离子刻蚀反应速率的方法，其特征包括以下工艺步骤：1）放入硅片，关上反应室门，打开真空泵，将腔室压力抽到5mTorr以下；2）通入反应气体，O₂的流量为40~50sccm，N₂的流量为40~150sccm，CF₄流量为240~500sccm，压力恒定到300~400mTorr；3）打开高频电源，进行辉光，通过观察辉光颜色，来确定最佳的射频功率（800~900W）和反应时间（700~1000s）；4）关闭高频电源，停止通入反应气体，将腔室压力抽到5mTorr以下时，通入N₂，直到反应室内压强为标准大气压，打开反应室门，取出硅片。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于反应室通入定量的氮气，通过观察辉光的颜色，来确定最佳的反应时间和射频功率。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于O₂的流量为40~50sccm，N₂的流量为40~150sccm，CF₄流量为240~500sccm，压力恒定到300~400mTorr，射频功率功率为800~900W，时间为700~1000s。