[发明专利]模板图像的获取方法有效

专利信息
申请号: 201110297921.5 申请日: 2011-09-27
公开(公告)号: CN103020925A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 陈跃飞;徐兵;贾翔;杨晓青 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G06T5/50 分类号: G06T5/50;G06T5/00;G03F9/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 模板 图像 获取 方法
【权利要求书】:

1.一种模板图像的获取方法,其特征在于,包括以下步骤:

(a)输入第一图像,所述第一图像具有对准标记;

(b)计算所述对准标记的形心的坐标,并将获取的所述形心的坐标取整;

(c)以步骤(b)获取的所述形心为中心裁剪所述第一图像,以获得第二图像,使所述对准标记的所述取整后的形心坐标到所述第二图像左右边缘、上下边缘距离相等;

(d)计算所述第二图像的形心坐标,并计算所述第二图像的形心坐标与所述第二图像的中心之间的第一偏移量;

(e)利用插值方法放大所述第二图像,以获得第三图像;

(f)基于步骤(e)中的放大倍数将步骤(d)中的所述第一偏移量换算成第二偏移量;

(g)根据所述第二偏移量来平移所述第三图像;以及

(h)利用插值方法缩小所述第三图像至与所述第二图像相同的尺寸。

2.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(b)包括以下步骤:

采用坎尼算法对所述第一图像进行边缘检测,通过梯度方向多项式拟合的方法获取所述对准标记的亚像素边缘的位置;以及

通过边缘跟踪和连接算法,将所述亚像素边缘变换成唯一的多边形,并且通过三角形分割法获取所述对准标记的所述形心。

3.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(b)包括以下步骤:

使用边缘检测器提取所述第一图像的所述对准标记的边缘;以及

根据提取的所述边缘使用重心法计算所述对准标记的所述形心的坐标。

4.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(b)包括以下步骤:

利用大津法计算所述第一图像的灰度阈值;

利用所述灰度阈值对所述第一图像进行二值化,将所述对准标记和所述第一图像的背景分割;以及

利用重心法计算所述对准标记的所述形心的坐标。

5.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(b)包括以下步骤:

利用重心法计算所述对准标记的所述形心的坐标。

6.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(c)包括以下步骤:

分别计算所述形心并取整至所述第一图像的上边缘与下边缘的距离;

分别计算所述形心并取整至所述第一图像的左边缘与右边缘的距离;以及

以所述取整后的形心坐标为中心裁剪所述第一图像,使所述取整后的形心坐标至所述第一图像的上下边缘距离相等,所述取整后的形心坐标至所述第一图像的左右边缘距离相等,以获得所述第二图像。

7.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(e)中的所述插值方法为最近邻插值方法、双线型插值方法或双立方插值方法。

8.根据权利要求1所述的模板图像的获取方法,其特征在于,步骤(g)包括以下步骤:

当需要将所述第三图像向左或右平移第一像素单位时,在所述第三图像的左侧或右侧裁剪所述第一像素单位,并在所述第三图像的右侧或左侧增加所述第一像素单位,其中新增加列的灰度值直接复制右或左列边缘的灰度值;以及

当需要将所述第三图像向上或下平移第二像素单位时,在所述第三图像的上侧或下侧裁剪所述第二像素单位,并在所述第三图像的下侧或上侧增加所述第二像素单位,其中新增加行的灰度值直接复制下或上行边缘的灰度值。

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