[发明专利]等位相等光强分束达曼光栅及其制备方法

权利要求书

1.一种等位相等光强分束达曼光栅，特征在于其构成是在该光栅的每一个周期 内，相邻位相突变点之间的位相值相差π，当分束比为奇数2N+1时， I₀＝I_±2＝I_±4＝K＝I_±2N，其零级光束位相值为或正衍射级次光束位 相值均相等，负衍射级次光束位相值均相等且与正衍射级次光束 位相值符号相反所有衍射级次光束位相值最多为3个不 同的值；当分束比为偶数2N时，无零级衍射，I_±1＝I_±3＝K＝I_±(2N-1)，其正衍射级 次光束位相值均相等负衍射级次光束位相值均相等且与正衍射 级次光束位相值符号相反所有衍射级次光束的位相值最 多为2个不同的值，其中N为大于1的正整数，该光栅的参数采用遗传算法进行计 算机编程优化算出：位相突变点的个数为K，第k个突变点归一化坐标为x_k，其中， k为1、2、…、K-1，K，x₀＝0，x_K+1＝1。

2.根据权利要求1所述的等位相等光强分束达曼光栅，其特征在于所述的每一 个周期内的位相突变点按下列规则设置：

当分束比为偶数(2N)时：设在0＜x＜0.5之间有k_even个突变点，则5k_even+1＝K，且xkeven+2=x1+0.5,]]>xkeven+3=x2+0.5,···,xK-1=xkeven-1+0.5,]]>xK=xkeven+0.5,]]>x₀＝0，x_K+1＝1；

当分束比为奇数(2N+1)时：位相突变点个数为K，第k个突变点归一化坐标 为x_k，其中，k为1、2、…、K-1，K，x₀＝0，x_K+1＝1。

3.权利要求1所述的等位相等光强分束达曼光栅的制备方法，其特征在于该方 法包括下列步骤：

①根据分束光斑数目的要求2N或2N+1，选定需要制作的等位相等光强分束达曼 光栅分束比为2N或2N+1；

②采用遗传算法对衍射效率η进行计算机编程优化，计算出等位相等光强分束达 曼光栅的位相突变点的个数K和第K个突变点的归一化坐标值x_K；

③根据对光栅最小衍射角、制造精度等要求选取光栅周期长度，并根据相应位 相突变点的归一化坐标值x_K计算出实际位相板每一周期内的位相突变点的坐标值；

④利用电子束直写法制作母版；

⑤通过接触式光刻法，将母版图案转移到涂有光刻胶和铬膜的光学玻璃；

⑥利用湿法刻蚀方法，将图案刻蚀到铬层，最后刻蚀到光学玻璃上。