[发明专利]GDS文件的扩展方法有效

专利信息
申请号: 201110298649.2 申请日: 2011-09-30
公开(公告)号: CN103034644A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 陈智涛 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06F17/30 分类号: G06F17/30;G06F17/50
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: gds 文件 扩展 方法
【权利要求书】:

1.一种GDS文件的扩展方法,其特征在于,包括:

提供待扩展的GDS文件,所述待扩展的GDS文件包括以层级结构形式存储的多个待扩展单元,所述待扩展单元中至少一个为顶层待扩展单元;

将所述待扩展的GDS文件复制到中间GDS文件中;其中,对于标签,仅复制直接隶属于待扩展层级的所述待扩展单元的标签;

将所有处于前述层级结构中非顶层的所述待扩展单元变更为顶层待扩展单元;

变更层级后,依照设定的放大参数扩展中间GDS文件中所有顶层待扩展单元中的图形层,以形成目标GDS文件。

2.根据权利要求1所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述仅复制直接隶属于待扩展层级的所述待扩展单元的标签是通过包括下述步骤的方法实现的:

当扫描到标签,判断所述标签是否直接隶属于待扩展层级的所述待扩展单元;其中,所述待扩展层级采用预设运行参数予以指示;

将直接隶属于所述待扩展层级的待扩展单元的标签复制到所述中间GDS文件中。

3.根据权利要求1所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,待扩展层级的所述待扩展单元是所述顶层待扩展单元。

4.根据权利要求1所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述将所有处于前述层级结构中非顶层的所述待扩展单元变更为顶层待扩展单元;包括:

确定所述非顶层的所述待扩展单元中的图形层的坐标值;

以所述顶层待扩展单元的坐标系为基准,转换所述非顶层的所述待扩展单元中的图形层的坐标值,以确定所述图形层在所述顶层待扩展单元的坐标系中的坐标值。

5.根据权利要求4所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述图形层包括通孔图形层或者接触孔图形层,所述通孔图形层或者接触孔图形层呈正方形;所述变更层级后,依照设定的放大参数扩展中间GDS文件中所有顶层待扩展单元中的图形层,以形成目标GDS文件包括:

将所述通孔图形层或者所述接触孔图形层的任意一个顶点的坐标值乘以所述放大参数;

基于所述通孔图形层或者所述接触孔图形层的边长以及所述放大参数确定辅助参数;

根据已乘以所述放大参数后的顶点的坐标值加上所述辅助参数确定所述顶点的新坐标值;

基于所述顶点的新坐标值以及所述通孔图形层或者所述接触孔图形层的边长确定除所述顶点外的其他顶点的新坐标值,以形成目标GDS文件中的通孔图形层或者接触孔图形层。

6.根据权利要求5所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述图形层还包括其他图形层,所述其他图形层为非通孔图形层和非接触孔图形层;所述变更层级后,依照设定的放大参数扩展中间GDS文件中所有顶层待扩展单元中的图形层,以形成目标GDS文件包括:

将所述顶层待扩展单元中的图形层的各个顶点的坐标值分别乘以所述放大参数,得到各个顶点的新坐标值;

基于所述新坐标值确定的图形层以形成目标GDS文件。

7.根据权利要求5或6所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述放大参数根据所述待扩展的GDS文件适用的工艺尺寸以及所述目标GDS文件适用的工艺尺寸之间的比例确定。

8.根据权利要求7所述的GDS文件的扩展方法,其特征在于,所述目标GDS文件适用的工艺尺寸小于所述待扩展的GDS文件适用的工艺尺寸。

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