[发明专利]光电检测系统的探头下压装置与下压方法

权利要求书

1.一种光电检测系统的探头下压装置，包括：用于放置被测物体的底盘、设置在所述底盘上方并能相对所述底盘在竖直方向上移动的探头、与所述探头连接从而控制所述探头的移动的下压模块，其特征在于：所述下压模块与探头滑动连接，所述探头的底部设置有第一磁性块，所述底盘上设置有对应于所述第一磁性块的第二磁性块，第一磁性块与第二磁性块之间能够具有吸合力。

2.如权利要求1所述的光电检测系统的探头下压装置，其特征在于：所述第一磁性块与第二磁性块均为永磁铁。

3.如权利要求1所述的光电检测系统的探头下压装置，其特征在于：所述第一磁性块为铁块、钴块、镍块或者其三者的合金块，第二磁性块为电磁铁，连接至电开关。

4.一种如权利要求1所述的装置的下压方法，包括如下步骤：

(a)探头在下压模块的作用下，从悬空于底盘上方的初始位置开始向下移动，直至探头的底部接触到底盘；

(b)下压模块继续下压，探头的底部与底盘抵触，下压模块相对本体向下滑动，第一磁性块与第二磁性块之间的吸合力提供探头与底盘之间的贴合力，且探头与底盘之间的贴合力保持恒定。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：当探头从悬空于底盘上方的初始位置开始向下移动时，第一磁性块与第二磁性块之间即具有吸合力。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于：当探头从悬空于底盘上方的初始位置开始向下移动时，第一磁性块与第二磁性块之间无吸合力；当探头的底部与底盘抵触时，第一磁性块与第二磁性块之间存在吸合力。