[发明专利]一种用于基板预对准以及基板方向检测及调整的装置

权利要求书

1.一种光刻机基板预对准装置，其特征在于包括：

预对准台，安装在一旋转台上，对玻璃基板的位置进行预对准；

多个支撑元件，支撑玻璃基板；以及

四组夹紧定位组件，位于预对准台的四周，对玻璃基板进行定位。

2.如权利要求1所述的预对准装置，其中，所述各夹紧定位组件包括驱动汽缸、连接件、驱动底板、定位轴承、定位轴承固定板、定位轴承微调螺栓以及螺栓支撑座，所述定位轴承安装在定位轴承固定板上，所述定位轴承固定板通过所述螺栓支撑座上的定位轴承微调螺栓固定在驱动底板上，所述驱动底板通过连接件安装于驱动汽缸的活塞上，而驱动汽缸本体固定在预对准台上，通过驱动汽缸活塞的前后运动驱动定位轴承运动并夹紧玻璃基板。

3.如权利要求2所述的预对准装置，其中，定位轴承固定板上设置和汽缸运动同向的腰型孔，调节定位轴承的前后位置。

4.如权利要求1所述的预对准装置，其中，支撑元件的上表面为圆弧形。

5.如权利要求1所述的预对准装置，其中，还包括基板方向检测装置，包括一对射式光电传感器；所述对射式光电传感器安装在预对准台上，其发射端高于玻璃基板，接收端低于玻璃基板；对射式光电传感器的发射光斑照射基板方向识别区域。

6.如权利要求1所述的预对准装置，其中，还包括基板方向调整装置，通过在预对准台下安装步进电机，带动预对准台旋转，进行基板方向的调整。

7.一种光刻机基板方向检测调整方法，所述基板的其中一对相邻边上设有一个方向识别缺口，其余各对相邻边上设有倒角，其特征在于：根据基板上的方向识别缺口以及其他倒角的尺寸范围，确定基板方向识别检测区域；使用对射式光电传感器照射所述检测区域；若对射式光电传感器的接收端可以接收到照射信号，则基板方向正确；若对射式光电传感器的接收端接收不到照射信号，则转动预对准台，重复上述检测过程，直至对射式光电传感器的接收端接收到照射信号。

8.如权利要求7所述的光刻机基板方向检测调整方法，其中，所述对射式光电传感器的接收端接收不到照射信号时，对预对准台进行180°旋转并进行下一次检测。

9.如权利要求7所述的光刻机基板方向检测调整方法，其中，当出现所述倒角边长最大值大于方向识别缺口短边边长最小值时，所述基板方向识别检测区域为：倒角的最大尺寸所未覆盖的区域与方向识别缺口的最小尺寸所覆盖的区域之间相重叠的面积区域。

10.如权利要求7所述的光刻机基板方向检测调整方法，其中，当出现所述倒角边长最小值大于方向识别缺口短边边长最大值时，所述基板方向识别检测区域为：方向识别缺口的最大尺寸所未覆盖的区域与倒角的最小尺寸所覆盖的区域之间相重叠的面积区域。