[发明专利]一种可实时数据处理的原子层沉积设备

权利要求书

1.一种可实时数据处理的原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件和控制部件，其特征在于：所述控制部件包括计算机和数据处理模块；所述计算机与所述数据处理模块连接，所述数据处理模块分别与所述真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件连接；

其中，所述计算机，用于显示系统操作界面、接收外部命令、显示系统各部件运行中的参数，向数据处理模块发送运行指令和数据和对所述设备其它部件进行控制，并从数据处理模块接收指令数据，对接收到的指令数据进行分析；

所述数据处理模块，用于对所述真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件发送的数据进行处理。

2.如权利要求1所述的可实时数据处理的原子层沉积设备，其特征在于：所述加热部件中的温控器通过RS232串口与所述数据处理模块连接。

3.如权利要求1所述的可实时数据处理的原子层沉积设备，其特征在于：所述真空部件中的压力传感器和真空计分别通过RS232和RS485串口与所述数据处理模块连接。

4.如权利要求1所述的可实时数据处理的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块和所述真空部件中的电压电流放大模块连接，所述电压电流放大模块和继电器连接，所述继电器下端为泵组电源。

5.如权利要求1所述的可实时数据处理的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块与所述等离子体产生部件中的射频电源连接。

6.如权利要求1所述的可实时数据处理的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块与所述气路部件中的质量流量控制器以及各个电磁阀相连。