[发明专利]快速精密射频自动匹配装置

权利要求书

1.一种快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，包括：

复阻抗检测装置、控制模块及包含真空电容器、空气可变电容器、电感的电容电感网络；所述真空电容器与所述空气可变电容器并联；

所述控制模块根据所述复阻抗检测装置检测的结果，控制所述电容电感网络中真空电容器、空气可变电容器转动，以实现自动阻抗匹配。

2.根据权利要求1所述的快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，还包括：

位置检测装置，用于检测所述空气可变电容器的实际位置。

3.根据权利要求2所述的快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，所述控制模块包括：

所述控制单元及电动机；

所述控制单元，用于在所述复阻抗检测装置检测的结果指示偏离匹配点时，控制所述电动机带动空气可变电容器快速转动；在所述复阻抗检测装置检测的结果指示偏离匹配点时，控制所述电动机带动真空电容器慢速转动；在所述位置检测装置的检测指示偏离中心位置时，控制所述电动机带动所述真空电动器慢速转动，从而使所述电动机带动空气可变电容器快速转动直至所述位置检测装置的检测指示回到中心位置。

4. 根据权利要求3所述的快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，

所述真空电容器包括真空电容器C1、真空电容器C2；所述电动机包括第一电动机、第二电动机及第三电动机。

5. 根据权利要求4所述的快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，所述控制单元包括：

第一控制子单元，在所述复阻抗检测装置检测的结果指示偏离匹配点时，通过负反馈控制所述第一电动机带动空气可变电容器快速转动；

第二控制子单元，在所述复阻抗检测装置检测的结果指示偏离匹配点时，通过负反馈控制所述第二电动机带动所述真空电容器C1慢速转动，控制所述第三电动机带动所述真空电容器C2慢速转动；

第三控制子单元，在所述位置检测装置的检测指示偏离中心位置时，通过负反馈控制所述第二电动机带动所述真空电动器C1慢速转动，从而使所述第一电动机带动所述空气可变电容器快速转动直至所述位置检测装置的检测指示回到中心位置。