[发明专利]一种复杂光学曲面研抛加工方法及装置

权利要求书

1.一种复杂光学曲面的研抛加工方法，该方法是：

(1)研抛工具绕z轴作高速回转，可沿x轴和z轴移动；

(2)工件沿y轴移动，绕z轴转动，绕y轴摆动；

(3)研抛工具相对于工件沿着预先获得的非线性螺旋路径运动，并主动调整研抛工具与工件之间的相对姿态，以获得均匀的面形精度和加工表面质量。

2.一种复杂光学曲面的研抛加工方法所用的装置，其特征在于：是由机床本体、由溜板构成的z轴、由溜板构成的x轴、由溜板构成的y轴、电主轴、精密气浮转台、精密摆动台、三个精密直线位移光栅和二个角位移光栅和一个多轴运动控制器组成，研抛工具通过共轴方式装夹在电主轴上，该电主轴装夹在z轴的溜板上，该z轴的溜板通过龙门式结构安装在x轴的溜板上；工件通过共轴或离轴方式装夹在精密气浮转台上，该精密气浮转台装夹精密摆动台上，该精密摆动台装夹在y轴的溜板上，Y轴的溜板通过定位和夹紧元件装夹在机床本体上，X轴溜板驱动Z轴溜板总成作直线移动，电主轴沿Z轴作直线移动；通过三个精密直线位移光栅检测分别检测x轴、y轴和z轴的位置，通过二个角位移光栅分别检测绕y轴的摆动位置、以及绕z轴的周向位置，通过以个多轴运动控制器实现各运动轴的检测以及位姿控制。