[发明专利]一种精密移动平台的正交性实时标定方法

权利要求书

1.一种直写式光刻机的精密移动平台正交性的实时标定方法，其特征在于：直写式光刻机包含曝光光源、图形发生器、安装于移动平台上的基底，曝光光源、图形发生器之间安装有光学集光系统；图形发生器与基底之间设有倾斜的分束器与可更换的透镜，分束器的反射光再经反射镜进入CCD相机，CCD相机外接计算机；

标定方法包含以下步骤：

1）将带有定位标记的基底放在精密移动平台上，通过真空吸附加以固定；

2）通过控制精密移动平台，由CCD相机实时采集基底上的定位标记经反射后成像在CCD相机上的图片，将基底上的定位标记成像在CCD相机的视场中心；

3）获取此时定位标记中心的位置坐标O（XO，YO），设计CCD相机直角坐标系以O点为原点，向右方向为X轴的正方向，向上方向为Y轴的正方向；

4）保持CCD相机固定不动，控制精密移动平台，将定位标记图形沿着CCD相机直角坐标系的X轴负方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标A(XA，YA)；沿着CCD相机直角坐标系的X轴正方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标B(XB，YB)；沿着CCD相机直角坐标系的Y轴负方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标C(XC，YC)；沿着CCD相机直角坐标系的Y轴正方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标D(XD，YD)；

5）计算出直线AB与CCD相机坐标系X轴的夹角θ1，直线CD与CCD相机坐标系Y轴的夹角θ2，从而实时标定出精密移动平台X、Y轴的正交性角度。

2.根据权利要求书1所述的标定方法，其特征在于：在所述基底上的定位标记的图形，为十字形，采用光刻技术在基底上制作，定位标记图形能在CCD相机的视场范围内成像。