[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及在基板表面涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术。

背景技术

作为在基板上形成规定的图案的技术，具有在基板上涂敷含有用于形成图案的材料的涂敷液并使其固化的技术。例如，本申请的申请人已经公开的日本特开2010-278225号公报中所记载的技术是能够适用于在具有光电转换面的基板上形成布线图案来制造光电转换器件的技术。在该技术中，使具有多个喷出口的嘴相对于基板扫描移动，并且从各喷出口喷出含有图案形成材料的涂敷液，从而在基板上形成相互平行且长度相等的多个线条状图案。

将要通过这种图案形成技术形成图案的基板的形状各种各样。例如，作为太阳能电池组的基板而使用的单晶硅基板是将正方形的四个角切掉了的八边形。这是为了有效利用圆形的单晶硅晶片的面积。形成在这样的基板上的图案的长度不恒定。

但是，通过上述技术形成的图案的长度全都相同。通过涂敷而高效地在这样的非矩形的基板(下面称为“不规则形状基板”)上形成图案的技术，至今还未出现。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中高效地在不规则形状基板上形成图案的技术。

本发明的图案形成装置为了达到上述目的，其特征在于，具有：基板保持装置，保持基板，第一嘴体，列状地排列配置有多个第一喷出口，所述多个第一喷出口分别喷出含有用于形成图案的材料的涂敷液，第二嘴体，具有喷出所述涂敷液的第二喷出口，移动装置，使所述第一嘴体沿着与所述第一喷出口的排列方向垂直的扫描移动方向相对于所述基板移动，并且使所述第二嘴体沿着所述扫描移动方向，以所述第二喷出口在所述排列方向上通过所有所述第一喷出口的外侧的方式相对于所述基板移动；从所述第一喷出口喷出所述涂敷液的时刻和从所述第二喷出口喷出所述涂敷液的时刻不同。

在这样构成的发明中，能够通过第一嘴体的扫描移动，一次形成与上述的专利文献所记载的内容相同的、相互平行且长度相等的线条状的多个图案。而且，能够通过第二嘴体的扫描移动及与第一嘴体不同的喷出时刻喷出涂敷液的动作，形成与第一嘴体形成的各图案平行且长度与这些图案的长度不等的图案。并且，通过组合第一嘴体及第二嘴体的涂敷动作，能够高效地在非矩形的不规则形状基板上形成图案。

在本发明中，例如移动装置可以使第一嘴体以与从第一喷出口喷出涂敷液的动作同步的方式，相对于基板移动，另一方面，使第二嘴体以与从第二喷出口喷出涂敷液的动作同步的方式，相对于基板移动。在开始喷出涂敷液时及停止时那样的过渡状态下，因为喷出量不稳定，所以图案形状会错乱。通过使第一嘴体及第二嘴体相对于基板的移动与喷出的时刻同步地进行，能够消除错乱的问题。

另外，例如能够改变第二嘴体的第二喷出口在排列方向上的位置。通过这样的结构，通过在排列方向上改变第二喷出口的位置，并且在那时进行扫描移动，能够形成多个图案。尤其是如果根据第二喷出口在排列方向上的位置设定，来改变第二嘴体在扫描移动方向上的相对于基板的相对移动量，则能够通过第二嘴体形成各种长度的图案。

另外，例如可以配置第二喷出口的位置在排列方向上互不相同的多个第二嘴体。通过这样，能够通过多个第二嘴体高效地形成多个图案。

另外，例如可以在第一嘴的排列方向上的两侧设置有一对第二喷出口。这样，能够在第一嘴体形成的图案的两侧形成长度与该图案的长度不等的图案。此外，虽然第二喷出口需要在排列方向上位于第一嘴体的两侧，但未限定在扫描移动方向上的第一嘴体与第二喷出口的位置关系。

这种情况下，可以使一对第二喷出口设置在关于第一喷出口的列对称的位置，移动装置使该一对第二喷出口一体地相对于基板移动。通过这样的结构，能够高效地在例如太阳能电池用的单晶硅基板那样的具有相对于扫描移动方向上的轴对称的形状的基板上形成图案。

另外，例如可以从贮存有涂敷液的同一涂敷液贮存部分别向一对第二喷出口供给涂敷液。若这样，则使从各个第二喷出口喷出的涂敷液的喷出条件相同，能够形成截面形状及长度整齐的图案。同样地，可以从贮存有涂敷液的同一涂敷液贮存部对多个第一喷出口供给涂敷液。这样，能够使通过第一嘴体形成的多个图案的截面形状及长度整齐。