[发明专利]一种真空高温炉坩埚支撑体

说明书

技术领域

本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备，尤其涉及一种真空高温炉坩埚支撑体。

技术背景

目前对于真空高温炉内反应器，如坩埚一般手用下部支撑，在用时要求具有真空、高温及压应力负荷条件。通常的做法是手用钨、钼等高熔点金属支撑体，这种支撑柱虽可承受真空高温环境下的重低，但其导热系数大，热量从支撑柱向下流出高温炉，导致热效率低，尤其是对于要求炉内上部温度低，下部温度高的温度梯度炉来说，下部支撑体热导系数2p，往往有碍于形成上低下高的顺序温度分布。

发明内容

为了克服现有真空高温炉坩埚支撑体技术的不足，本发明提供一种采用难熔金属薄片及金属网交替叠合组成高温炉坩埚支撑体，导热系数较低，提高热效率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：将难熔金属薄片和金属网分别切割成若干个相同大小的圆片和圆网，并在圆片和圆网上面合适的位置打安装孔。然后将若干个圆片、圆网按ABABAB……形式逐步交替叠合，并用螺栓螺母通过安装机将叠合体紧固为一体，形成坩埚支撑体。其导热系数低，从而提高热效率。

本发明产生的有益效果是，支撑体耐高温、低导热、无蓄气、无挥发成份特点；大量适用于真空高温炉内反应器的支撑，尤其是籽晶的置法晶体生长炉，如旋转提拉炉泡生法晶体生长炉。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是金属薄片实施例的结构图。

图2是金属网实施例的结构图。

图3是本发明支撑体叠合示意图。

图4是本发明支撑体的剖面图

附图标记说明：1.圆形金属薄片，2.圆形金属网，3.安装孔，4.螺栓，5.螺母。

具体实施方式

在图1、2实施例中，先将难熔金属加工成金属薄片和金属网，然后将金属薄片和金属网分别切割成若干个相同大小的圆形金属薄片(1)和圆形金属网(2)，并在圆形金属薄片(1)和圆形金属网(2)上面合适的位置打安装孔(3)和固定孔。

在图3、4实施例中，将若干个圆形金属薄片(1)和圆形金属网(2)按ABABAB……形式逐步交替叠合，然后将螺栓(4)螺母(5)通过安装机将叠合体紧固为一体，形成坩埚支撑体，即形成真空高温炉坩埚支撑体。