[发明专利]洗净方法及洗净液供给装置

权利要求书

1.一种洗净方法，是将洗净液供给至洗净装置中，来洗净被洗净基板的 洗净方法，其特征在于：

当利用用以除去异物的过滤器来过滤上述洗净液，并将该过滤后的洗净 液，通过供给管而供给至上述洗净装置中来洗净被洗净基板时，

至少在将上述过滤后的洗净液往上述洗净装置供给之前，先使上述过滤 后的洗净液通过排出管而往系统外部排出，之后，才将上述过滤后的洗净液， 通过供给管而供给至上述洗净装置中。

2.如权利要求1所述的洗净方法，其中：当使上述过滤后的洗净液通过 供给管供给至上述洗净装置中来洗净被洗净基板时，

至少先将上述过滤后的洗净液通过排出管而往系统外部排出，之后，直 到将上述过滤后的洗净液通过供给管而开始供给至上述洗净装置中为止，从 上述排出管持续排出洗净液。

3.如权利要求1所述的洗净方法，其中：在开始供给上述过滤后的洗净 液后，一边通过上述供给管来供给过滤后的洗净液，一边同时地通过上述排 出管来持续排出过滤后的洗净液。

4.如权利要求2所述的洗净方法，其中：在开始供给上述过滤后的洗净 液后，一边通过上述供给管来供给过滤后的洗净液，一边同时地通过上述排 出管来持续排出过滤后的洗净液。

5.如权利要求1所述的洗净方法，其中：当停止往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，仍通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液。

6.如权利要求2所述的洗净方法，其中：当停止往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，仍通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液。

7.如权利要求3所述的洗净方法，其中：当停止往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，仍通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液。

8.如权利要求4所述的洗净方法，其中：当停止往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，仍通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液。

9.如权利要求1所述的洗净方法，其中：直到上述全部的被洗净基板洗 净完成为止，通过上述排出管来持续排出上述过滤后的洗净液。

10.如权利要求第8所述的洗净方法，其中：直到上述全部的被洗净基 板洗净完成为止，通过上述排出管来持续排出上述过滤后的洗净液。

11.如权利要求1所述的洗净方法，其中：当要往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，上述排出管的入口的高度位置设成比上述供给管的入口的 高度位置更高。

12.如权利要求10所述的洗净方法，其中：当要往洗净装置供给上述过 滤后的洗净液时，上述排出管的入口的高度位置设成比上述供给管的入口的 高度位置更高。

13.如权利要求1所述的洗净方法，其中：将上述被洗净基板设为掩模 用透明基板、空白掩模、空白掩模制造中间体或掩模的任一种。

14.如权利要求12所述的洗净方法，其中：将上述被洗净基板设为掩模 用透明基板、空白掩模、空白掩模制造中间体或掩模的任一种。

15.如权利要求1～14中任一项所述的洗净方法，其中：将上述纯水设为 超纯水。

16.一种洗净液供给装置，是将洗净液供给至用以洗净被洗净基板的洗 净装置中的洗净液供给装置，其特征在于：

至少具备：用以从上述洗净液除去异物的过滤器、用以将上述洗净液供 给至上述洗净装置中的供给管、用以将上述洗净液往系统外部排出的排出 管、及分别被配设在上述供给管与排出管上来控制上述洗净液的液量的阀；

上述供给管与上述排出管，被连接在上述过滤器的更下游侧，并根据上 述供给管与排出管的各个阀的开闭，将利用上述过滤器而被过滤后的洗净 液，往上述洗净装置供给及/或往系统外部排出。

17.如权利要求16所述的洗净液供给装置，其中：在上述供给管与上述 排出管的连接部，排出管的入口的高度位置设成比供给管的入口的高度位置 更高。