[发明专利]光控制元件

权利要求书

1.一种光控制元件，包括具有电光效应且厚度为10μm以下的薄板、在该薄板上形成的光波导、以及用于控制在该光波导中传播的光的多个光控制部，其特征在于，

在该光控制部的至少一部分上，用于对该光波导施加电场的控制电极由夹着该薄板配置的第1电极和第2电极构成，

该第1电极具有信号电极和接地电极，并且该第2电极至少具有接地电极，构成为与第1电极的信号电极协作来对该光波导施加电场，

多个光控制部之间通过仅在薄板的表面上配置的共面型线路、在薄板的表面上配置的共面型线路和在背面配置的接地电极、或者微带线中的任意一种构成的控制信号配线来连接，光和电信号的到达时间被设定为大致相同。

2.根据权利要求1所述的光控制元件，其特征在于，

该光控制部是光路切换型的光开关、光衰减器、马赫-曾德尔光调制器中的任意一种。

3.根据权利要求1或2所述的光控制元件，其特征在于，

该光控制部是以1ns以下的切换速度或者1GHz以上的频率进行工作的电光元件。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的光控制元件，其特征在于，

构成该第1电极的信号电极以及接地电极的厚度大致相同。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的光控制元件，其特征在于，

该薄板为LiNbO₃晶体、LiTaO₃晶体、或两者的固溶体晶体中的任意一种。