[发明专利]一种Ti-Mo-N多元硬质薄膜

权利要求书

1.一种用于切削工具表面的Ti-Mo-N多元硬质薄膜，其是以Ti、Mo、N为薄膜的基本组成元素，采用磁控溅射的方法在切削工具表面制备Ti-Mo-N三元薄膜；具体通过以下制备步骤制备得到：

先将切削工具基体材料表面抛光，并分别用氢氟酸、丙酮、酒精和去离子水等在超声波清洗器中各清洗约10min后烘干备用；

随后，将基体材料置于磁控溅射设备真空室内的样品台上，并将纯Ti靶和Ti₅₀Mo₅₀合金靶分别置于不同的阴极靶位；

随后将真空室内真空度抽到≤5×10^-4Pa，同时通入流量为8-10sccm的Ar，当真空室气压为2-4Pa时，预溅射2-3min，预溅射的功率为50-70W，以进一步清洗基体材料的成膜表面；

随后维持Ar的流量为8-10sccm，控制基体材料温度为40-50℃，当真空室气压为1-1.5Pa时，向基体材料施加100-150V的负偏压，同时移开纯Ti靶的挡板，以50-70W的功率进行溅射，溅射时间为5-10min，以形成一层纯Ti薄膜；

随后开始通入流量为0.3-0.6sccm的N₂，并维持Ar的流量为8-10sccm、真空室气压为1-1.5Pa、基体材料的负偏压为100-150V、基体材料的温度为40-50℃，以50-70W的功率进行溅射，溅射时间为15-25min，以形成一层Ti-N二元薄膜；

随后维持Ar的流量为8-10sccm、N₂的流量为0.3-0.6sccm、真空室气压为1-1.5Pa、基体材料的负偏压为100-150V，升高基体材料的温度为80-100℃，同时关闭纯Ti靶的挡板并移开Ti₅₀Mo₅₀合金靶的挡板，以50-70W的功率进行溅射，溅射时间为80-100min，以形成Ti-Mo-N三元薄膜。