[发明专利]氩气的提纯方法及提纯装置

权利要求书

1.氩气的提纯方法，该方法是对至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，其特征在于，

使所述氩气中烃的一部分和油分被活性炭吸附，

然后，判断所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢、一氧化碳和烃的全部进行反应所需的氧的设定量，

所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，

然后，使用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧进行反应，以残留氧的状态生成二氧化碳和水，

然后，添加一氧化碳以使所述氩气中的一氧化碳量超过与该残留氧的全部进行反应所需的一氧化碳的设定量，

然后，通过使用钌催化剂、钯催化剂或它们的混合催化剂使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应，以残留一氧化碳的状态生成二氧化碳，

然后，使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法被吸附剂吸附。

2.如权利要求1所述的氩气的提纯方法，其特征在于，作为使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧进行反应的所述催化剂，使用钯。

3.如权利要求1或2所述的氩气的提纯方法，其特征在于，作为用于所述变压吸附法的所述吸附剂，使用X型沸石。

4.如权利要求1或2所述的氩气的提纯方法，其特征在于，作为用于所述变压吸附法的所述吸附剂，使用活性氧化铝和X型沸石。

5.如权利要求4所述的氩气的提纯方法，其特征在于，将所述活性氧化铝和所述X型沸石配置成层状，且所述活性氧化铝和所述X型沸石的重量比为5/95～30/70。

6.如权利要求1或2所述的氩气的提纯方法，其特征在于，在通过所述变压吸附法进行吸附之后，使所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法被吸附剂吸附。

7.如权利要求3所述的氩气的提纯方法，其特征在于，在通过所述变压吸附法进行吸附之后，使所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法被吸附剂吸附。

8.氩气的提纯装置，该装置是对至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气进行提纯的装置，其特征在于，该装置具备

导入所述氩气的活性炭吸附塔、

导入从所述活性炭吸附塔流出的氩气的第1反应器、

能够在导入所述第1反应器的氩气中添加氧的氧供给器、

导入从所述第1反应器流出的氩气的第2反应器、

能够在导入所述第2反应器的氩气中添加一氧化碳的一氧化碳供给器、和

导入从所述第2反应器流出的氩气的吸附装置，

所述活性炭吸附塔中收纳有吸附所述氩气中烃的一部分和油分的活性炭，

所述第1反应器中收纳有使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧进行反应的催化剂，

所述第2反应器中收纳有使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应的钌催化剂、钯催化剂或它们的混合催化剂，    

所述吸附装置具有使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法而吸附的PSA单元。

9.如权利要求8所述的氩气的提纯装置，其特征在于，所述吸附装置具有使从所述PSA单元流出的所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法而吸附的TSA单元。