[发明专利]平面微型射频线圈与微流通道的集成结构有效
| 申请号： | 201110308841.5 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102500437A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 吴卫平;易红;倪中华;陆荣生 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N24/08;G01R33/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 微型 射频 线圈 流通 集成 结构 | ||
1.一种平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：在衬底(1)的上方依次设有PI层(4)、第一PDMS层(7)和第二PDMS层(8)，所述PI层(4)包裹覆盖平面微型射频线圈(2)和引桥(3)，所述第一PDMS层(7)和设在引线(5)上方的电极(6)包裹覆盖引线(5)，所述第一PDMS层(7)与第二PDMS层(8)对准键合形成微流通道(9)，所述第二PDMS层(7)上设有直通微流通道(9)的进出管通孔(10)。
2.根据权利要求1所述平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：所述衬底(1)为玻璃衬底或表面覆盖氧化层的硅衬底。
3.根据权利要求1所述平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：所述平面微型射频线圈(2)、引桥(3)、引线(5)和电极(6)依次连接，所述平面微型射频线圈(2)、引桥(3)和引线(5)的材料均为铜，电极(6)的材料为金或铝。
4.根据权利要求1所述平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：所述微流通道(9)中设有垂直投影位于平面微型射频线圈(2)内的样品腔(12)。
5.根据权利要求1所述平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：所述微流通道(9)中设有与所述进出管通孔(10)同心的进出样品池(11)。
6.根据权利要求1所述平面微型射频线圈与微流通道的集成结构，其特征在于：所述电极(6)的上表面显露。
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