[发明专利]一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具

权利要求书

1.一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具，其特征在于底板连接硅片叠放底座；硅片叠放底座的第一硅片叠放底座的两侧壁上分别通过螺栓固定连接第一支撑座和第四支撑座；硅片叠放底座的第二硅片叠放底座的两侧壁上分别通过螺栓固定连接第三支撑座和第二支撑座；第一支撑座、第二支撑座、第三支撑座和第四支撑座的上端有缺口，所述缺口支撑第一支撑轴、第二支撑轴和顶杆支撑；

固定夹板和活动夹板为矩形板，在对角的角部有孔，分别连接第一支撑轴、第二支撑轴；

固定夹板的内侧接触面有中心圆槽，外侧面有中心方槽；

活动夹板的内侧接触面有中心槽；

顶杆的螺栓杆螺纹连接顶杆支撑，顶杆的顶端接触活动夹板。

2.根据权利要求1所述的一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具，其特征在于活动夹板在第一支撑轴和第二支撑轴上滑动。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具，其特征在于第一硅片叠放底座和第二硅片叠放底座组成夹角90度的硅片存放底座。