[发明专利]半导体封装、基板及基板制造方法有效
申请号: | 201110309463.2 | 申请日: | 2011-10-13 |
公开(公告)号: | CN102361024A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 苏洹漳;黄士辅;陈嘉成;李明锦 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L21/48;H01L21/768;H01L23/522 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 制造 方法 | ||
1.一种半导体封装,包括:
基板,包括:
两外层,分别包括一外图案化导电层;
两防焊层,分别位于两外层的表面上,且各该防焊层暴露出对应的 该外图案化导电层的一部分以定义出多个接触垫;
多个内层,位于该两外层的中间并与其电连接,该些内层分别具有:
内图案化导电层;
多个内导电柱,位于该内图案化导电层上;以及
内介电层,位于该内图案化导电层及该些内导电柱之间且暴露该些 内导电柱的上表面,该内介电层包含纤维加强型树脂材料,其中位于该些内 导电柱周围的纤维受到该些内导电柱垂直延伸方向的推挤,使其排列方向远 离该内图案化导电层;以及
中图案化导电层,位于该些内层的一上表面,与该些内层上方的该外层 连接;以及
芯片,电连接至少部分该些接触垫。
2.如权利要求1所述的半导体封装,其中该些外层还包括:
多个外导电柱,分别位于该些内层的上下表面的该中图案化导电层及该 内图案化导电层上;以及
两外介电层,分别位于该些外导电柱之间且暴露该些外导电柱的上表 面,该些外图案化导电层分别位于各该外介电层及该些外导电柱上,且该些 防焊层分别位于各该外介电层及至少部分各该外图案化导电层上。
3.如权利要求1所述的半导体封装,其中该些外层还包括:
多个半导电柱,分别位于该些内层的上下表面的该中图案化导电层及该 内图案化导电层上;
两外介电层,分别覆盖该中图案化导电层、该内图案化导电层及该些半 导电柱;
两第一导电层,分别位于部分该些外介电层上;
多个开口,分别由各该第一导电层延伸至该外介电层,该些开口暴露至 少部分的该些半导电柱表面;以及
两第二导电层,分别位于该些第一导电层及该些半导电柱上,该些外图 案化导电层分别位于各该第二导电层上,该些防焊层分别位于各该外介电层 及至少部分该外图案化导电层上。
4.如权利要求1所述的半导体封装,其中该些外层还包括:
两外介电层,分别覆盖该中图案化导电层及该内图案化导电层;
两第一导电层,分别位于部分该些外介电层上;
多个开口,分别由各该第一导电层延伸至该外介电层,该些开口暴露至 少部分的该中图案化导电层及该内图案化导电层;以及
两第二导电层,分别位于该中图案化导电层、该内图案化导电层及该些 第一导电层上,该些外图案化导电层分别位于各该第二导电层上,该些防焊 层分别位于各该外介电层及至少部分该外图案化导电层上。
5.如权利要求1所述的半导体封装,其中该芯片覆晶接合于至少部分该 些接触垫。
6.如权利要求1所述的半导体封装,其中该芯片打线接合于至少部分该 些接触垫。
7.一种基板,包括:
两外层,分别包括一外图案化导电层;
两防焊层,分别位于该两外层的表面上,且各该防焊层暴露出对应的该 外图案化导电层的一部分以定义出多个接触垫;
多个内层,位于该两外层的中间并与其电连接,该些内层分别具有:
内图案化导电层;
多个内导电柱,位于该内图案化导电层上;以及
内介电层,位于该内图案化导电层及该些内导电柱之间且暴露该些内导 电柱的上表面,该内介电层包含纤维加强型树脂材料,其中位于该些内导电 柱周围的纤维受到该些内导电柱垂直延伸方向的推挤,使其排列方向远离该 内图案化导电层;以及
中图案化导电层,位于该些内层的一上表面,与该些内层上方的该外层 连接。
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