[发明专利]压力传感器温度补偿系统及其温度补偿方法

说明书

技术领域

本发明涉及传感器测试系统，尤其涉及一种压力传感器温度补偿系统及其温度补偿方法。

背景技术

国内的传感器厂家目前大多是采用经验补偿法来进行压力传感器的温度补偿，即在所有同批次的产品上加同样的补偿电阻，补偿后再测试，根据漂移量再反复修正电阻值，这样的温度补偿方法效率低，且该压力传感器温度补偿方法的补偿精度也得不到保障。

发明内容

本发明提供一种压力传感器温度补偿系统及其温度补偿方法，以实现压力传感器的批量化、高精度温度补偿。

本发明提供一种压力传感器温度补偿系统，包括：多路传感器测试压力座，用于放置多个压力传感器并向所述多个压力传感器提供基准压力，每个所述压力传感器包括压力传感单元和电桥；高低温箱，用于放置所述多路传感器测试压力座，并为所述多个压力传感器提供温度补偿所需的温度环境；压力控制仪，用于控制所述多路传感器测试压力座提供给所述多个压力传感器测试所需的压力值；多通道电桥测试模块，用于在所述多个压力传感器中选择一压力传感器进行测试；可编程电源，用于向多通道电桥测试模块选择的压力传感器提供基准电压；万用表，用于采集多通道电桥测试模块选择的压力传感器的电桥的初始数据，并将所述初始数据传送给工控机；工控机，根据所述初始数据得出补偿数据，形成所述压力传感器的电桥的补偿电阻网络。

进一步的，所述电桥包括第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻，所述第一电阻与所述第二电阻串联，所述第三电阻与所述第四电阻串联，所述串联后的第一电阻和第二电阻与所述串联后的第三电阻和第四电阻并联。

进一步的，所述补偿电阻网络包括桥臂补偿单元和桥路补偿单元，所述桥臂补偿单元用于减小或增大电桥中某个桥臂中的电阻阻值，所述桥路补偿单元用于减小或增大整个电桥的电阻阻值。

进一步的，所述桥路补偿单元包括第一补偿电阻、第二补偿电阻和第三补偿电阻，所述桥臂补偿单元包括第四补偿电阻、第五补偿电阻、第六补偿电阻和第七补偿电阻，所述第一补偿电阻的一端与第二电阻和第三电阻的共同端连接，所述第二补偿电阻的一端与第二电阻和第三电阻的共同端连接，所述第二补偿电阻的另一端与第一电阻和第四电阻的共同端连接，所述第三补偿电阻与第一电阻和第四电阻的共同端连接，所述第六补偿电阻的一端与第二电阻的一端连接，所述第七补偿电阻的一端与第一电阻的一端连接，所述第六补偿电阻的另一端与第七补偿电阻的另一端连接，所述第四补偿电阻与第二电阻并联，所述第五补偿电阻与第一电阻并联。

本发明提供一种使用所述压力传感器温度补偿系统对压力传感器进行温度补偿的方法，包括：

步骤一：通过工控机控制多通道电桥测试模块在所述多个压力传感器中选择一压力传感器进行测试，通过工控机控制高低温箱为所述多个压力传感器提供温度补偿所需的温度环境；

步骤二：通过压力控制仪控制所述多路传感器测试压力座提供给所述多个压力传感器测试所需的压力值，接着通过可编程电源向多通道电桥测试模块选择的压力传感器提供基准电压，接着通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的压力传感器的电桥的初始数据；

步骤三：通过压力控制仪控制所述多路传感器测试压力座改变所述多个压力传感器测试所需的压力值，再通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的压力传感器的电桥的初始数据；

步骤四：通过工控机控制高低温箱为所述多个压力传感器改变温度补偿所需的温度环境，再通过压力控制仪控制所述多路传感器测试压力座提供给所述多个压力传感器测试所需的压力值，接着通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的压力传感器的电桥的初始数据；

步骤五：通过压力控制仪控制所述多路传感器测试压力座改变所述多个压力传感器测试所需的压力值，再通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的压力传感器的电桥的初始数据；

步骤六：通过万用表将所有初始数据传送给工控机，再通过工控机根据所述初始数据得出补偿数据，形成所述压力传感器的电桥的补偿电阻网络；

步骤七：在电桥上增加补偿电阻，形成补偿电阻网络；

步骤八：重复步骤一至步骤八，直至在所有通道中均已形成该通道中的压力传感器的电桥的补偿电阻网络。

进一步的，所述步骤一中，温度补偿所需的温度环境为25℃。

进一步的，所述步骤二中，测试所需的压力值为零。

进一步的，所述步骤三中，测试所需的压力值为满量程压力值。

进一步的，所述步骤四中，温度补偿所需的温度环境为65℃。

进一步的，所述步骤四中，测试所需的压力值为零。