[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及泵单元与电源单元成为一体的一体型真空泵。 

背景技术

在如涡轮分子泵或牵引分子泵那样的真空泵中，在泵主体的外壳侧面设有排气口。此外，用于与控制电源(电源单元)连接的控制电源连接口(连接器)设在泵主体的外壳侧面(参照专利文献1)。 

专利文献1：日本授权实用新型第3138105号公报 

但是，在上述专利文献所记载的真空泵中，为了改变控制电源相对于以泵心轴作为中心的泵主体的安装相位，需要将控制电源连接口重新设置到别的位置。因此，不容易改变控制电源相对于泵主体的安装相位。 

发明内容

(1)技术方案1涉及的真空泵包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器装置，其用于在泵主体与控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置具有泵主体侧的第一连接器构件和控制单元侧的第二连接器构件，该第一连接器构件和第二连接器构件能够相互装卸；以及连接器安装构件，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的下表面上，在该连接器安装构件上设置有第一连接器构件，与泵主体和控制单元的安装相位相对应地，使连接器安装构件以第一安装相位或者第二安装相位被安装在泵主体 的下表面上。 

根据本发明，能容易地改变控制单元相对于泵主体的安装相位。 

附图说明

图1是涡轮分子泵装置的外观图。 

图2是说明水冷套的图，(a)是俯视图、(b)是主视图、(c)是仰视图。 

图3是III-III向视剖视图。 

图4是说明电源装置壳体的图，(a)是俯视图、(b)是主视图。 

图5是图4的V-V剖视图。 

图6是图4的VI-VI剖视图。 

图7是图4的VII-VII剖视图。 

图8是说明套(jacket)主体与电源装置壳体的配合结构的图。 

图9是详细表示控制装置的框图。 

图10是表示机构部封闭板的图，(a)是侧视图、(b)是仰视图。 

图11是表示被安装在外壳的下表面上的机构部封闭板的图，(a)是侧视图、(b)是仰视图。 

具体实施方式

参照图1～图11，说明作为本发明一实施方式的涡轮分子泵装置1。涡轮分子泵装置利用电动机驱动形成有旋转叶片的转子旋转，通过使该旋转叶片相对于固定叶片高速旋转，排出气体分子。这种涡轮分子泵装置连接在各种真空处理装置使用。 

图1表示作为本发明一实施方式的涡轮分子泵装置1的外观。涡轮分子泵1包括：用于进行真空排气的泵主体11、冷却装置13、以及用于驱动控制泵主体11的电源装置(控制单元)14。关于泵主体11见后述。 

冷却装置13安装在泵主体11与电源装置14之间，主要用于冷却电源装置14内的发热构件，特别是电动机驱动回路中的电子零件。如图2所示，冷却装置13具有：套主体13a，该套主体13a的内部形成有冷却水通道13d；冷却水入口13b以及冷却水出口13c，它们用于从未图示的泵向冷却水通道循环冷却水。 

泵主体11包括外壳110和安装在外壳110下方的基座12(外壳120)。在外壳110的图1的上下位置处设有连接用法兰110UF、110LF。在外壳120的图1的上下位置处设有连接用法兰120UF、120LF。将外壳110和外壳120称为泵外壳。外壳110的上部连接用法兰110UF利用螺栓11BT连接于未图示的真空处理装置的排气口。外壳110的下部连接用法兰110LF利用螺栓12BT连接于外壳120的上部连接用法兰120UF。外壳120的下部连接用法兰120LF设置在冷却装置13的上表面13US上，而且冷却装置13利用螺栓13BT紧固在外壳120的下表面上。冷却装置13的下表面抵接于电源装置14的壳体(金属制)140的上端面，壳体140利用螺栓14BT紧固在冷却装置13上。 

如图2所示，套主体13a为大致八边形的平板形状，在底面形成有平面形状为大致八边形的凸部13e。在套主体13a的上表面13US的中央设有用于防止与后述的机构部封闭板122干扰的大致圆形的凹部13i。在凹部13i的从凹部13i的中心位置偏心的位置设有供后述的连接器构件132以及各配线145贯穿的开口13j。在套主体13a的外周每隔规定角度形成有突出部13f，在该突出部13f上贯穿该突出部13f地设有孔13g，该孔13g用于 将电源装置壳体140紧固在该突出部13f上。