[发明专利]一种提高氧化锌单晶电阻率的退火方法无效
| 申请号： | 201110315866.8 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103046133A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 林文文;黄瑾;黄丰;林璋;黄嘉魁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 氧化锌 电阻率 退火 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，其特征在于包括以下步骤：将低电阻率的氧化锌单晶和供氧化合物真空密封在石英管内，置于加热炉进行高温保温退火，最后自然降温，获得高电阻率的氧化锌单晶。
2.如权利要求1所述的提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，其特征在于：所述的氧化锌单晶为水热法或者气相法生长的含有H杂质或氧空位或锌填隙缺陷的氧化锌单晶。
3.如权利要求1所述的提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，其特征在于：所述的供氧化合物为KMnO4、氯酸钾或过氧化物，或者前述化合物的混合物。
4.如权利要求1所述的提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，其特征在于：所述的高温退火保温温度范围为300℃～1300℃，保温时间为1-72小时。
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