[发明专利]光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置

权利要求书

1.一种光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置包括平板底座(1)、X轴直线单元(2)、XY直线单元连接件(3)、Y轴直线单元(4)、YC轴第一连接件(5)、YC轴第二连接件(6)、C轴旋转单元(7)、工作台(8)、夹具体(9)、CCD对刀与监控装置(A)、竖直件(11)、Z轴直线单元(14)、ZB轴第一连接件(15)、ZB轴第二连接件(17)、B轴旋转单元(18)、主轴部分连接件(19)、电主轴(20)、主轴第一压紧件(21)和主轴第二压紧件(22)、球头铣刀(23)、多轴控制器(24)、上位机(25)和六个驱动器(26)，竖直件(11)垂直安装在平板底座(1)上，平板底座(1)上还安装有X轴直线单元(2)，X轴直线单元(2)的运动轴线与竖直件(11)的主安装面(11-1)平行，X轴直线单元(2)与Y轴直线单元(4)通过XY直线单元连接件(3)连接，Y轴直线单元(4)的运动轴线与X轴直线单元(2)的运动轴线垂直，Y轴直线单元(4)通过YC轴第一连接件(5)和YC轴第二连接件(6)与C轴旋转单元(7)连接，工作台(8)安装在C轴旋转单元(7)上，夹具体(9)安装在工作台(8)上，Z轴直线单元(14)安装在竖直件(11)的主安装面(11-1)上，Z轴直线单元(14)的运动轴线垂直于平板底座(1)的上端面，Z轴直线单元(14)通过ZB轴第一连接件(15)和ZB轴第二连接件(17)与B轴旋转单元(18)连接，主轴部分连接件(19)安装在B轴旋转单元(18)上，主轴第一压紧件(21)安装在主轴部分连接件(19)上，主轴第二压紧件(22)与主轴第一压紧件(21)连接，电主轴(20)压紧夹装在主轴第一压紧件(21)与主轴第二压紧件(22)之间，电主轴(20)上装夹球头铣刀(23)，竖直件(11)的主安装面(11-1)上还安装有CCD对刀与监控装置(A)，X轴直线单元(2)的驱动线(2-1)和信号线(2-2)、Y轴直线单元(4)的驱动线(4-1)和信号线(4-2)、C轴旋转单元(7)的驱动线(7-1)和信号线(7-2)、Z轴直线单元(14)的驱动线(14-1)和信号线(14-2)、B轴旋转单元(18)的驱动线(18-1)和信号线(18-2)以及电主轴(20)的驱动线(20-1)和信号线(20-2)均与相应的驱动器(26)连接，X轴直线单元(2)的反馈线(2-3)、Y轴直线单元(4)的反馈线(4-3)、C轴旋转单元(7)的反馈线(7-3)、Z轴直线单元(14)的反馈线(14-3)和B轴旋转单元(18)的反馈线(18-3)与多轴控制器(24)连接，除与电主轴(20)连接的驱动器(26)之外的其余驱动器(26)的信号线(26-1)均与多轴控制器(24)连接，多轴控制器(24)与上位机(25)连接，CCD对刀与监控装置(A)的信号线(A-1)与上位机(25)连接。

2.根据权利要求1所述的光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：平板底座(1)和竖直件(11)均由花岗岩材料制成。

3.根据权利要求2所述的光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：工作台(8)与C轴旋转单元(7)之间采用轴孔过盈配合。

4.根据权利要求2所述的光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：B轴旋转单元(18)与主轴部分连接件(19)之间采用轴孔过盈配合。

5.根据权利要求4所述的光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置还包括配重部分(P)，所述配重部分(P)安装在竖直件(11)的副安装面(11-2)上。

6.根据权利要求5所述的光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置还包括第二吊环螺钉(16)，所述第二吊环螺钉(16)安装在ZB轴第二连接件(17)的上表面处。