[发明专利]一种具有防氧化层的铜基键合丝及其加工工艺有效
申请号: | 201110317074.4 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN102332439A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 薛子夜;周钢;赵碎孟 | 申请(专利权)人: | 浙江佳博科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01B1/02;H01B5/02;H01B13/00;C22B9/00;C22B1/02;B21C1/00;C25D3/48;C25D7/06;C22F1/08 |
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地址: | 325600 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 氧化 铜基键合丝 及其 加工 工艺 | ||
1.一种具有防氧化层的铜基键合丝,其特征在于:所述的铜基键合丝由基础材料铜添加微量金属元素构成母合金基材,并在母合金基材制成的微细金属丝表面镀金层而构成该铜基键合丝,所述铜基键合丝用料中的铜和镀层金的纯度均高于99.99%。
2.根据权利要求1所述的一种具有防氧化层的铜基键合丝,其中铜基键合丝基材包括基础材料添铜,并添加微量金属元素La、Pt、Ce而构成。
3.根据权利要求1所述的一种具有防氧化层的铜基键合丝,其中铜基键合丝材料中各金属成分质量比重分别是:Cu为88-97%,微量金属元素La为0.0006-0.010%,Ce为0.001-0.005%,Pt为0.003-0.005%,镀层金2-10%。
4.根据权利要求1所述的一种具有防氧化层的铜基键合丝,其中铜基键合丝表面镀金的厚度为0.1微米-2.5微米。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种具有防氧化层的铜基键合丝,其中铜基键合丝的制备工艺包括如下步骤:
步骤一,熔炼母合金胚材,将基础材料Cu与选定的微量金属材料Pt、Ce、La混合,将混合金属材料在真空度10-2-10-3Mpa的熔炉内融化,保持熔炼温度为1790℃,精炼时间45分钟以上,熔炼过程中采用高纯度氩气保护,最后采用凝固方式制备直径为10毫米左右的母合金铜棒胚料;
步骤二,拉制微细丝,将上述直径为10毫米左右的母合金铜棒胚料进行冷加工,加工至直径1.0毫米的母合金丝,然后进行拉拔处理,每次加工率为15%至20%,每次拉拔速度控制在50米/分钟左右,速度波动控制在10%;然后经过以下相似过程多次,采用每次加工率为6%至20%,将前述铜丝加工至直径0.015毫米--0.075毫米,拉制速度控制在500米/分钟,速度变化控制在10%以内;
步骤三,清洗金属丝,将上述微细金属丝进行表面清洗,采用超声波技术清洗,清洗介质采用无水酒精;
步骤四,表面镀金,将上述清洗后的微细金属丝进行电镀处理,电镀液为软金电镀液,电镀电流密度为0.25A/dm2-5.0A/dm2,电镀速度控制在20m/min内;
步骤五,退火处理,将表面镀金的微细铜丝进行退火处理,采用氮气保护环境下热处理,热处理温度为415℃-425℃,处理时间控制在1.0S-2.1S,控制退火时张力大小3.0g以内;
步骤六,分卷绕线,使用专用绕线机,将键合丝定长绕制在量英寸直径的线轴上,绕线速度控制在50m/min-100m/min,线间距为5毫米,分卷长度为50米至1000米;
步骤七,普包储运,采用普通包装,常温常压条件下储运。
6.根据权利要求3所述的一种具有防氧化层的铜基键合丝,其中中镀金采用电镀方式,电镀金溶液的主要成分包括:亚硫酸金钠,其浓度为5-25g/L、柠檬酸钾,浓度为5-25g/L、亚硫酸金铵,浓度为5-25g/L、亚硫酸铵,浓度为180-250g/L、EDTA,浓度为2-4g/L、聚乙二醇,浓度为1-2g/L、亚硫酸碱盐、结晶调整剂、表面活性剂、缓冲剂。
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