[发明专利]一种具有防氧化功能的铜基键合丝无效
申请号: | 201110317109.4 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN102361026A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 赵碎孟;周钢;薛子夜 | 申请(专利权)人: | 广东佳博电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;C25D3/48;C25D7/06 |
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地址: | 510530 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 氧化 功能 铜基键合丝 | ||
1.一种具有防氧化功能的铜基键合丝,其特征在于键合丝包括材料铜,并 并添加La、Ce、Pd微量金属元素,构成基材,基材金属丝表面镀金层,键合丝 中各成分的质量占比Cu为88-97%,微量金属元素La为0.0006-0.010%,Ce为 0.001-0.005%,Pd为0.003-0.005%,金镀层2-10%。
2.根据权利要求1所述的一种具有防氧化功能的铜基键合丝,其特征在于: 所述键合丝的基础材料为铜,并且铜包括成品的铜线材料。
3.根据权利要求1所述的一种具有防氧化功能的铜基键合丝,其特征在于: 所述键合丝材料是以铜为基础材料添加几种微量金属元素,构成基材。
4.根据权利要求1所述的一种具有防氧化功能的铜基键合丝,其特征在于: 所述键合丝表面镀金的厚度为0.1微米-2.5微米。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种具有防氧化功能的铜基键合丝,其 特征在于:所述键合丝的制备步骤如下:
步骤一,制作母合金基材,将纯度高于99.99%的Cu,加选定的微量金属 材料La、Ce、Pd,混合为母合金基材;
步骤二,熔铸母合金胚材,将上述材料在真空度10-2-10-3Mpa的熔炉内高 温融化,保持熔炼温度为1600℃,精炼时间50分钟以上,熔炼过程中采用高纯 度氩气保护,最后采用凝固方式制备直径为8毫米左右的铜棒胚料熔铸成母合 金铜棒胚料;
步骤三,预制细铜丝,将上述直径为8毫米左右的母合金铜棒胚料进行粗 拔处理,拉伸后加工成直径为1毫米左右的铜丝,进一步拉伸铜丝至直径为100 微米左右,然后进行固定退火处理;
步骤四,清洗金属丝,将上述直径为100微米左右的微细金属丝进行表面 清洗,清洗采用超声波技术,清洗介质采用无水酒精;
步骤五,表面镀金,将上述微细铜丝进行电镀处理,电镀液为软金电镀液, 金的纯度高于99.99%,电镀电流密度0.25A/dm2-5.0A/dm2,电镀速度控制在 20m/min内;
步骤六,退火处理,将表面镀金的微细铜丝进行退火处理,采用氮气保护 环境下热处理,热处理温度为415℃-425℃,处理时间控制在1.0S-2.1S,控制退 火时张力大小3.0g以内;
步骤七,精制键合丝,将表面镀金处理的微细铜丝进行精细拉拔处理,拉 伸至直径为15微米至75微米,拉伸速度控制在450米/分钟至600米/分钟;
步骤八,绕线,使用绕线机,将键合丝定长绕制在量英寸直径的线轴上, 绕线速度控制在50m/min-100m/min,线间距约为5毫米,分卷长度为50米至 1000米;
步骤九,包装,常温常压条件下采用普通包装,常温常压保存。
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