[发明专利]衬底处理装置、衬底处理装置的温度控制方法及衬底处理装置的加热方法

权利要求书

1.一种衬底处理装置，其特征在于，

具有：

加热机构，其对收容衬底的处理室进行加热；

第一温度检测机构，其利用第一热电偶对所述衬底附近的温度进行检测；

第二温度检测机构，其利用第二热电偶对所述加热机构附近的温度进行检测；

控制机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述加热机构进行控制；

控制切换机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述控制机构进行控制，从而使所述控制机构对第一控制模式和第二控制模式进行切换，

所述第一热电偶的耐热性比所述第二热电偶的耐热性大，所述第二热电偶的温度检测性能比所述第一热电偶的温度检测性能高。

2.一种衬底处理装置的温度控制方法，其特征在于，具有以下步骤：

通过加热机构对收容衬底的处理室进行加热的步骤；

通过利用第一热电偶的第一温度检测机构对所述衬底附近的温度进行检测的步骤；

通过利用第二热电偶的第二温度检测机构对所述加热机构附近的温度进行检测的步骤；

依据由所述第一温度检测机构或所述第二温度检测机构检测的温度，对第一控制模式和第二控制模式进行切换的步骤，其中，所述第一控制模式根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述加热机构进行控制；所述第二控制模式根据由所述第二温度检测机构检测的温度对所述加热机构进行控制，

所述第一热电偶的耐热性比所述第二热电偶的耐热性大，所述第二热电偶的温度检测性能比所述第一热电偶的温度检测性能高。

3.一种衬底处理装置，其特征在于，

具有：

加热机构，其对收容衬底的处理室进行加热；

第一温度检测机构，其使用第一放射温度计对通过所述加热机构被加热的温度进行检测；

第二温度检测机构，其使用第二放射温度计对通过所述加热机构被加热的温度进行检测，其中，所述第二放射温度计，将比由第一放射温度计测定的温度的范围的上限高的温度作为所测定的温度的范围的上限，并且，将比由第一放射温度计测定的温度的范围的下限高的温度作为所测定的温度的范围的下限；

控制机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述加热机构进行控制；

控制切换机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述控制机构进行控制，从而使所述控制机构切换第一控制模式和第二控制模式，或者，根据由所述第一温度检测机构或所述第二温度检测机构检测的温度和预先设定的阈值，对所述控制机构进行控制，从而使所述控制机构切换第一控制模式和第二控制模式。