[发明专利]OLED基片线性传输设备无效
申请号: | 201110319479.1 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN102437077A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 郭业祥;范继良;刘惠森 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L51/56;B65G49/06 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 线性 传输 设备 | ||
1.一种OLED基片线性传输设备,用于对OLED生产工艺中不同工序之间的基片进行水平方向和竖直方向的线性传输,其特征在于,所述OLED基片线性传输设备包括:
机架,所述机架包括水平底板及沿所述水平底板弯折延伸形成的侧板;
若干升降装置,所述升降装置沿所述水平底板的纵向呈等隔的设置于所述水平底板上,所述升降装置包括升降驱动器及托架,所述托架的底端与所述升降驱动器的输出轴连接,所述托架的顶端具有供托起基片用的托起部;以及
水平输送装置,所述水平输送装置包括水平驱动组件及若个基片承载架,所述基片承载架沿水平方向呈等间隔的设置于所述侧板上,所述基片承载架的一端可沿水平方向滑动的与所述侧板连接,所述基片承载架的另一端远离所述侧板并朝所述托架处凸伸出两对应设置的承载部,所述承载部沿所述水平底板的纵向位于所述托起部的两侧外,且两所述承载部朝对方弯折形成位于所述托起部正上方的基片承载区,相邻所述基片承载架之间固定连接,所述水平驱动组件驱使所述基片承载架沿水平方向移动,移动的基片承载架使基片承载区正对托起部,升降驱动器驱使托起部伸入基片承载区进而托起承载于基片承载区内的基片。
2.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,还包括控制器及与所述控制器电性连接的传感器组件,所述控制器控制所述升降驱动器和水平驱动组件,所述传感器组件包括传感器挡块、第一传感器及第二传感器,所述传感器挡块安装在一个所述基片承载架上,所述第一传动器分别设置所述传感器挡块的两侧并固定在所述侧板上,所述第二传感器安装在所述托架上并正对所述托起部托起的基片。
3.根据权利要求2所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述第一传感器及第二传感器均为光电传感器。
4.根据权利要求2所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述水平驱动组件包括丝杆、螺母及与所述控制器电性连接的水平驱动器,所述丝杆沿水平方向呈枢接的安装在所述侧板上并与所述水平驱动器的输出轴连接,所述螺母呈啮合的套于所述丝杆上并与安装有所述传感器挡块的所述基片承载架固定。
5.根据权利要求4所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述水平驱动器为伺服电机。
6.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述水平底板与所述侧板呈垂直设置。
7.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述侧板沿水平方向设置有导轨,每一所述基片承载架固定设有与所述导轨滑动配合的滑块,所述滑块呈滑动的卡于所述导轨上。
8.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述托架上设置有若干柔性的呈平面设置的顶柱,所述顶柱形成所述托起部。
9.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述承载部的位于所述基片承载区内的部位处设置有沿竖直方向向上伸出的柔性的支撑柱。
10.根据权利要求1所述的OLED基片线性传输设备,其特征在于,所述升降驱动器为气缸。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造