[发明专利]一种互连线平均失效时间计算方法及系统

权利要求书

1.一种互连线平均失效时间计算方法，其特征在于，包括：

确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；

获取经过所述目标互连线的电流数据；

以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；

将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取经过所述目标互连线的电流数据，具体为：

确定所述目标电路版图对应的电路网表信息；

将所述电路网表信息输入电路仿真器，得到经过所述目标互连线的电流数据。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述平均失效时间函数为：

MTTF＝BJ^-ne^Ea/kT(1≤n≤2)

其中，J是实际电流密度，B是工艺因子，n为电流指数，Ea为活化能，k为波尔兹曼常数，T为温度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，具体为：

确定目标电路版图中目标互连线的损失区域数据信息，并计算得到所述损失区域横截面的面积；

将目标互连线的原始区域横截面的面积减去所述损失区域横截面的面积，得到实际区域横截面的面积。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述确定目标电路版图中目标互连线的损失区域数据信息，具体为：

将所述目标电路版图输入CMP模拟器，得到所述目标电路版图中目标互连线的损失区域数据信息。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述损失区域为金属碟形损失区域和/或介质氧化层侵蚀损失区域。

7.一种互连线平均失效时间计算系统，其特征在于，包括：

实际区域面积确定模块，用于确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；

电流数据确定模块，用于获取经过所述目标互连线的电流数据；

实际电流密度确定模块，用于以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；

失效时间确定模块，用于将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述电流数据确定模块，包括：

电路信息确定单元，用于确定所述目标电路版图对应的电路网表信息；

电流数据确定单元，用于将所述电路网表信息输入电路仿真器，得到经过所述目标互连线的电流数据。

9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述实际区域面积确定模块包括：

损失区域面积确定单元，用于确定目标电路版图中目标互连线的损失区域数据信息，并计算得到所述损失区域横截面的面积；

实际区域面积确定单元，用于将目标互连线的原始区域横截面的面积减去所述损失区域横截面的面积，得到实际区域横截面的面积。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述损失区域面积确定单元的具体配置为：

将所述目标电路版图输入CMP模拟器，得到所述目标电路版图中目标互连线的损失区域数据信息。