[发明专利]同时的荧光相关光谱术

权利要求书

1.一种用于在检查物体的多个位置上同时进行荧光相关光谱术的方法或装置，该方法或装置使得能成本低廉地制造为此所需的仪器，所述装置带有照亮物体(14)且具有发光区域(121)的照明光栅(120b)、将所述照明光栅(120b)投影在所述物体(14)处的聚焦平面(14s)内的物镜装置(13u)以及位于接收器侧的孔板(121)，其特征在于，根据所述聚焦平面为观测光路的孔板的每个孔(121)配设一个用于光谱分离从样品返回的光线的装置(302a)，并且每个用于光谱分离的装置(302a)配设有至少两个光线接收器(305a)。

2.按权利要求1所述的装置，其特征在于，所述用于光谱分离光线的装置(302a)分别由至少一个二色镜(303)和至少一个全反射镜(304)组成。

3.按权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述用于光谱分离光线的装置(302a)被调节到相同的光波长。

4.按权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述用于光谱分离光线的装置(302a)被调节到不同的光波长。

5.按一项或多项前述权利要求所述的装置，其特征在于，至少一个，但优选每个用于光谱分离光线的装置(302a)之前连接有聚光透镜(301a)，该聚光透镜(301a)位于所述接收器侧的孔(121)与所述用于光谱分离光线的装置(302a)之间。

6.按一项或多项前述权利要求所述的装置，其特征在于，沿一个方向射出所述二色镜(303)的光线射到所述光线接收器之一(305a)上，并且沿另一方向射出所述二色镜的光线经由全反射镜(304)射到另一个光线接收器(305a)上。

7.按一项或多项前述权利要求所述的装置，其特征在于，将雪崩光电二极管阵列(305)中相邻的雪崩光电二极管(305a)用作光线接收器，其中，未被反射而穿过所述二色镜(303)的光线射到所述雪崩光电二极管接收器之一(305a)上，并且被所述二色镜反射的光线经由全反射镜(304)被引向另一个雪崩光电二极管接收器(305a)。

8.按一项或多项前述权利要求所述的装置，其特征在于，被所述二色镜(303)反射的光线被导向第二个二色镜，并且被所述第二个二色镜反射的光线被引向第二光线接收器，并且穿过所述第二个二色镜的光线经由一个全反射镜被引向第三光线接收器。