[发明专利]用于处理含有四氯化硅的溶液的设备

权利要求书

1.一种用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，包括：

蒸发装置，用于将所述溶液中的四氯化硅转变为四氯化硅蒸汽并得到废液；

除尘装置，所述除尘装置与所述蒸发装置相连以便从所述蒸发装置接收所述四氯化硅蒸汽，并除去所述四氯化硅蒸汽中的粉尘，以获得经过净化的四氯化硅蒸汽；

冷凝装置，所述冷凝装置与所述除尘装置相连以便从所述除尘装置接收经过净化的四氯化硅蒸汽，并将所述经过净化的四氯化硅蒸汽冷凝，以得到经过净化的四氯化硅液体。

2.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，所述含有四氯化硅的溶液为制备多晶硅过程中产生的含有四氯化硅的残液。

3.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，所述蒸发装置内的温度为70-90摄氏度，压力为50-160kPa。

4.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，所述冷凝装置中的温度为30-40摄氏度。

5.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括固液分离装置，所述固液分离装置与所述蒸发装置相连以便从所述蒸发装置接收所述废液，并且对所述废液进行固液分离以得到固相混合物和液相混合物。

6.根据权利要求5所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括干燥装置，所述干燥装置与所述固液分离装置相连，以便从所述固液分离装置接收固相混合物，并对所述固相混合物进行干燥以得到经过干燥的固相混合物。

7.根据权利要求6所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括存渣装置，所述存渣装置与所述干燥装置相连，以便从所述干燥装置接收并存储所述经过干燥的固相混合物。

8.根据权利要求6所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括液相混合物返回管路，所述液相混合物返回管路分别与所述蒸发装置和所述固液分离装置相连，以便将所述液相混合物返回至所述蒸发装置。

9.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括四氯化硅存储装置，所述四氯化硅存储装置与所述冷凝装置相连，以便从所述冷凝装置接收并存储经过净化的四氯化硅液体。

10.根据权利要求1所述的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，其特征在于，进一步包括三氯氢硅制备装置，所述三氯氢硅制备装置与所述四氯化硅存储装置相连，以便从所述四氯化硅存储装置接收经过净化的四氯化硅液体，并将所述经过净化的四氯化硅液体用于生产三氯氢硅。