[发明专利]一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液无效
| 申请号： | 201110320294.2 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102343547A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张楷亮;张涛峰;王芳;任君;苗银萍 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 材料 热化学 机械抛光 抛光 | ||
1.一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法，其特征在于：在热化学机械抛光过程中加热抛光盘，抛光盘的温度为30℃-100℃。
2.一种如权利要求1所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：由复合磨料、ph复合调节剂、表面活性剂、分散剂和去离子水混合组成，其各成分的质量百分比为：复合磨料0.1%~20wt%、Ph复合调节剂 0.01%~5wt%、表面活性剂0.001%-1wt%、分散剂0.001%-1wt%、去离子水为余量。
3.根据权利要求2所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：所述复合磨料由硬质磨料和软质磨料两种磨料粒子混合构成，其中硬质磨料为金刚石粉、碳化硅粉和刚玉粉中的一种或者两种以任意比例混合的混合物；软质磨料为胶体二氧化硅、二氧化铈、二氧化锆中的一种或者两种以任意比例混合的混合物；硬质磨料和软质磨料的质量比为1：1-4。
4.根据权利要求2所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：所述复合ph调节剂由有机强碱和有机弱碱组成，其中有机强碱为四甲基氢氧化铵、羟基胺和四乙基氢氧化铵中的一种或两种以任意比例混合的混合物；有机弱碱为二羟基乙基乙二胺、二乙烯三胺、乙二胺和二乙醇胺中的一种或两者以任意比例混合的混合物；有机强碱与有机弱碱体积比为2-5：1。
5.根据权利要求2所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：所述表面活性剂为硅烷聚二乙醇醚、聚二乙醇醚和十二烷基乙二醇醚中的一种或两种任意比例的混合物。
6.根据权利要求2所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：所述分散剂为聚乙二醇200或聚乙二醇400。
7.根据权利要求2所述蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法的抛光液，其特征在于：所述抛光液的ph值为8-13。
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